JFS´Â Àú½ºÅÛÀÌ 3³â¿©ÀÇ ±â¼ú °³¹ß °úÁ¤À» °ÅÃÄ ¸¸µç ¼¼°è ÃÖÃÊÀÇ ½ÀµµÁ¦¾î Á¦Ç°ÀÌ´Ù. ¿þÀÌÆÛ¸¦ ´ã¾Æ ¿Å±â´Â ¿ë±âÀΠDZ(FOUP) ³» ½Àµµ¸¦ »ó½ÃÀûÀ¸·Î Á¦¾îÇØ 1% ÀÌÇÏ·Î À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÑ´Ù. ¿þÀÌÆÛ´Â ¿Âµµ¿Í ½Àµµ¿¡µµ ¹Î°¨ÇØ ½Àµµ À¯Áö´Â ¼öÀ² ¹®Á¦¿Í Á÷°áµÈ´Ù.
Ãß°¡Àû Àåºñ ±¸ÀÔµµ ÇÊ¿ä¾ø´Ù. ±âÁ¸ ÀåºñÀÎ EFEM(°øÁ¤¿ë ÀÎÅÍÆäÀ̽º ¸ðµâ)¿¡ ÀåÂøÇϱ⸸ÇÏ¸é µÈ´Ù. Àú½ºÅÛÀº "ȸ·Î ¼±ÆøÀÌ ±Ø¼ÒȵǴ ½Ã´ë°¡ ºü¸¥ ½ÃÀÏ ³» ¿Ã °ÍÀÌ¶ó º¸°í 2019³âºÎÅÍ Ãß°¡Àû Àåºñ ±¸ÀÔ¾øÀÌ JFS ¼³Ä¡·Î DZ ³»ºÎ ½Àµµ¸¦ ³·Ãâ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýÀ» °í¹ÎÇØ¿Ô´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
Àú½ºÅÛÀº ½ÀµµÁ¦¾î ¼Ö·ç¼Ç¿¡ Æ¯ÈµÈ ±â¾÷ÀÌ´Ù. 1¼¼´ë Á¦Ç°ÀÎ N2 PURGE ¼Ö·ç¼ÇÀº ±Û·Î¹ú ½ÃÀå Á¡À¯À²ÀÌ 80%¸¦ ³Ñ±â¸ç 2000¾ï¿¡ ´ÞÇÏ´Â ´©Àû ¸ÅÃâ¾×À» ´Þ¼ºÇß´Ù. Àú½ºÅÛÀº 2¼¼´ë Á¦Ç°ÀÎ JFS°¡ À̹ø¿¡ ½ÃÀå¿¡ ÁøÀÔÇϸé N2 PURGE ¼öÀÍÀ» ³Ñ±æ °ÍÀÌ¶ó º»´Ù.
Áß¼Òº¥Ã³±â¾÷ºÎ´Â 2021³â Àú½ºÅÛÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ½ÀµµÁ¦¾î ¼Ö·ç¼ÇÀ» ±â¼úÇõ½Å°úÁ¦·Î ÁöÁ¤Çß´Ù. °úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎ´Â Áö³ÇØ Àú½ºÅÛ ±â¾÷ ¿¬±¸¼Ò¸¦ ÃÖ¿ì¼ö ±â¾÷¿¬±¸¼Ò·Î ¼±Á¤Çß´Ù. Áß¼Ò±â¾÷À¸·Ð À¯ÀÏÇÏ´Ù.
ÀÓ¿µÁø Àú½ºÅÛ ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â "JFS´Â ÃÖ»óÀÇ ½ÀµµÁ¦¾î¸¦ À§ÇÑ Àü·«Àû ¼±ÅÃ"À̶ó¸ç "JFS¸¦ È°¿ëÇØ ½Àµµ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ°í ¿Ü»ê °í°¡ Àåºñ¸¦ ´ëüÇÏ´Â È¿°úµµ ³¾ ¼ö ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
Àú½ºÅÛÀº M»ç¿Ü¿¡µµ ´Ù¸¥ Á¾ÇչݵµÃ¼ ±â¾÷°úÀÇ Çù·ÂÀ» À§ÇØ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ³íÀÇÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¹àÇû´Ù.