![]() |
°¡¿ì½º·¦½º ±è¿µÇÑ ´ëÇ¥(°¡¿îµ¥)°¡ °¡¿ì½º·¦½º ±¸¼º¿øµé°ú ÇÔ²² ±â³ä»çÁøÀ» ÃÔ¿µÇÏ°í ÀÖ´Ù./»çÁøÁ¦°ø=SKÇÏÀ̴нº |
SPIE ALÀº 1955³â ¹Ì±¹¿¡¼ ¼³¸³µÈ ±¤ÇÐ, ±¤ÀÚÇÐ ºÐ¾ß °¡Àå ±ÇÀ§ ÀÖ´Â ±¹Á¦ ÇÐȸ '±¹Á¦±¤ÀüÀÚ°øÇÐȸ'(SPIE)°¡ ÁÖÃÖÇÏ´Â ÄÁÆÛ·±½º·Î ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ±×¸®±â À§ÇÑ ³ë±¤±â¼ú Àü¹Ý¿¡ ´ëÇÑ ³íÀÇ°¡ ÀÌ·ïÁø´Ù.
À̹ø ³í¹® ¹ßÇ¥¸¦ ÅëÇØ °¡¿ì½º·¦½º´Â AI ±â¹Ý °¡»ó °èÃø ¼Ö·ç¼Ç 'Panoptes VM(Virtual Metrology)'ÀÇ ¿¹Ãø Á¤È®µµ¸¦ ³ôÀÌ´Â ¾Ë°í¸®ÁòÀÎ 'ÅëÇÕ ÀûÀÀÇü ¿Â¶óÀÎ ¸ðµ¨(Aggregated AOM)'À» ¼Ò°³Çß´Ù. AOMÀº °øÁ¤ »óÅ º¯È¿¡ µû¸¥ µ¥ÀÌÅÍ º¯È ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ°í ³ôÀº ¿¹Ãø ¼º´ÉÀ» À¯ÁöÇϵµ·Ï ÇÏ´Â ¸ðµ¨¸µ ¾Ë°í¸®ÁòÀÌ´Ù.
SKÇÏÀ̴нº´Â 2022³â 12¿ùºÎÅÍ Panoptes VMÀ» µµÀÔÇØ ÇöÀç±îÁö 5000¸¸ Àå ÀÌ»óÀÇ ¿þÀÌÆÛ¿¡ °¡»ó °èÃøÀ» ÁøÇàÇß´Ù. À̸¦ ½Ã°£À¸·Î ȯ»êÇϸé ÃÊ´ç 1°³ ÀÌ»óÀÇ ¿þÀÌÆÛ¸¦ °¡»ó °èÃøÇÑ °ÍÀ¸·Î, ȸ»ç´Â ÀÌ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾îÀÇ ¼º´É¿¡ ÈûÀÔ¾î °øÁ¤ »êÆ÷¸¦ ¾à 29% °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. »êÆ÷: ÇØ´ç °øÁ¤¿¡¼ »ý»êµÈ Á¦Ç°µéÀÇ Ç°Áú º¯µ¿ Å©±â·Î, »êÆ÷°¡ ÁÙ¾îµé¼ö·Ï ºÒ·® °¡´É¼ºÀÌ ÁÙ¾îµé±â¿¡ »êÆ÷°¡ ÀûÁ¤ ¼öÁØÀ» ³Ñ¾î¼Áö ¾Êµµ·Ï °ü¸®ÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
°¡¿ì½º·¦½º°¡ ÇÐȸ¿¡¼ »õ·Î °ø°³ÇÑ ¾Ë°í¸®ÁòÀº ±âÁ¸ AOMÀ» ¾÷±×·¹À̵åÇÑ ¹öÀüÀ¸·Î, µ¿ÀÏÇÑ ÆÐÅÏÀ» °øÀ¯ÇÏ´Â Àåºñ µîÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÅëÇÕ ¸ðµ¨¸µÇØ µ¥ÀÌÅÍ ºÎÁ· ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ ¿¹Ãø Á¤È®µµ¸¦ ³ô¿´´Ù. ÀÌ ¾Ë°í¸®ÁòÀ» Àû¿ëÇÏ¸é °øÁ¤ »êÆ÷ °³¼±À²ÀÌ ³ô¾ÆÁø´Ù´Â °ÍÀÌ °¡¿ì½º·¦½ºÀÇ ¼³¸íÀÌ´Ù.
¶Ç °¡¿ì½º·¦½º´Â À̹ø ÇÐȸ¿¡¼ '¹ü¿ë ³ëÀÌÁî Á¦°Å ±â¼ú'µµ ¼Ò°³Çß´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °èÃø Áß ÀϺΠÀÛ¾÷Àº ¹ÝµµÃ¼ ±¸Á¶ °Ë»ç¿ë ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ(CD-SEM) À̹ÌÁö¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÁøÇàµÈ´Ù. ±Øµµ·Î ÀÛÀº ³ª³ë¹ÌÅÍ ´ÜÀ§±îÁö Á¤È®ÇÏ°Ô ÃøÁ¤Çϱâ À§Çؼ´Â ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ À̹ÌÁöÀÇ ³ëÀÌÁî(ÀâƼ)¸¦ Á¦°ÅÇØ Çػ󵵸¦ ³ôÀÌ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù. CD-SEMÀº ÀüÀÚ ±¤ÇÐ Çö¹Ì°æ°ú Àû¿Ü¼± ±¤ÇÐ Çö¹Ì°æÀ» °áÇÕÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏÀÇ Å©±â, ¸ð¾ç ¹× À§Ä¡ µîÀ» ÃøÁ¤ÇÏ´Â Àåºñ´Ù.
°¡¿ì½º·¦½º°¡ °³¹ßÇÑ ÀÌ ±â¼úÀº AI¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ´Ù¾çÇÑ ÇüÅÂÀÇ À̹ÌÁö¿¡¼ ³ëÀÌÁ Çѹø¿¡ Á¦°ÅÇØ ÁØ´Ù. °¡¿ì½º·¦½º´Â "SKÇÏÀ̴нº¿Í Å×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÇÑ °á°ú, À̹ÌÁö ȹµæ ½Ã°£ÀÌ ±âÁ¸ ±â¼úÀÇ 1/4±îÁö ´ÜÃàµÇ´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇß´Ù"¸ç "¾ÕÀ¸·Î ÀÌ ±â¼úÀÌ ¹ÝµµÃ¼ °èÃø ÀåºñÀÇ »ý»ê¼ºÀ» 42% °³¼±ÇÒ °Í"À̶ó°í ³»´ÙºÃ´Ù.
±è¿µÇÑ °¡¿ì½º·¦½º ´ëÇ¥´Â "´ç»ç´Â »ê¾÷¿ë AI ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î°¡ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÇöÀå¿¡¼ È¿°úÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÏ´Â ¿¬±¸°³¹ß¿¡ Èû¾²°í ÀÖ´Ù"¸ç "¾ÕÀ¸·Îµµ AI ±â¹ÝÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¼Ö·ç¼Ç Á¦Ç°À» Áö¼Ó Ãâ½ÃÇØ Á¦Á¶ ÇöÀå ÀΰøÁö´Éȸ¦ ¼±µµÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
SKÇÏÀ̴нº´Â "¹ÝµµÃ¼ ¼öÀ²°ú »ý»ê¼ºÀ» ³ôÀ̱â À§ÇØ ±×µ¿¾È °¡¿ì½º·¦½º¿Í ´Ù¾çÇÑ ¿µ¿ª¿¡¼ Çù¾÷À» ÁøÇàÇØ ¿Ô°í, À̹ø¿¡ ±ÇÀ§ ÀÖ´Â ±¹Á¦ÇÐȸ¿¡¼ ¾ç»çÀÇ °³¹ß ¼º°ú°¡ ´ã±ä ³í¹® 2ÆíÀ» ¹ßÇ¥ÇÏ°Ô µÆ´Ù"¸ç "¾ÕÀ¸·Îµµ °¡¿ì½º·¦½º¿Í Áö¼Ó Çù·ÂÇØ ±â¼ú ¿ìÀ§¸¦ È®º¸Çϱâ À§ÇØ ³ë·ÂÇÏ°Ú´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.