¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¹üÇÁ 3D °Ë»çÀåºñ (¸ðµ¨¸í VEGA S-1000) |
¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¹üÇÁ °Ë»ç ÀåºñÀÇ ±Û·Î¹ú ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â ¾à 1Á¶¿ø ¼öÁØÀÌ´Ù. ¹Ì±¹ ³ª½º´Ú »óÀå»ç Ä·ÅØ(CAMTEK), ÄÉÀÌ¿¤¿¡ÀÌ(KLA) µî ÀϺΠÇØ¿Ü ¾÷üµéÀÌ ½ÃÀåÀ» µ¶Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¿µ¿ìµð¿¡½ºÇÇ°¡ °³¹ßÇÑ ÀåºñÀÇ ÇÙ½É ±â¼úÀº ±¤½Ã¾ß(Large FOV) ±¤ÇÐ ·»Áî ¹× ±¤Çаè·Î ÀÚü °³¹ß(ƯÇã Ãâ¿ø)ÇÏ¿© ¿Ö°î ¾øÀÌ °Ë»ç ´ë»óÀÇ ³ÐÀº ¿µ¿ªÀÇ ¿µ»óÀ» ÃÔ¿µÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶Ç ÃÔ¿µµÈ ¿µ»ó¿¡ ´ëÇÑ ±×·¡ÇÈó¸®ÀåÄ¡(GPU) ±â¹ÝÀÇ °í¼Ó ó¸® ¾Ë°í¸®ÁòÀ» Àû¿ëÇÏ¿© °æÀï»ç ´ëºñ ³ôÀº »ý»ê¼º(WPH)À» È®º¸Çß´Ù.
ƯÈ÷ Åë°èÀû°øÁ¤°ü¸®(SPC), ºÐ¼®(Verify), ºÒ·® È®ÀÎ ¹× µ¥ÀÌÅÍ ÃëÇÕ ºÐ¼® µîÀÇ ÅøÀ» ÀÌ¿ëÇÑ µÚ ½Ã°¢È ºÐ¼® ±â¼úÀ» Àû¿ëÇß°í, °í°´ ¸ÂÃãÇüÀ¸·Î °³¹ß ÁßÀÎ ÀΰøÁö´É(AI)°ú ¿¬°èÇÏ¿© Ç°Áú°ü¸® ½Å·Ú¼ºÀ» ³ôÀÏ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¿µ¿ìµð¿¡½ºÇÇ´Â ¿þÀÌÆÛ ¹üÇÁ 3D °Ë»çÀåºñ¸¦ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ±â¾÷ ¹× ÅéƼ¾î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç¿Í ¾÷¹«Çù¾à(MOU)À» ü°áÇÏ°í, °øµ¿À¸·Î ¾ç»ê Å×½ºÆ®¸¦ ÃßÁøÇÒ °èȹÀÌ´Ù. Å×½ºÆ® ¿Ï·á µÚ ÇϹݱ⠻ó¿ëȸ¦ ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Í ´õºÒ¾î ¹ÝµµÃ¼ Ĩ ¿Ü°ü °Ë»ç¿ë ±âÆij»Ãþ°Ë»ç(AOI) Àåºñµµ ½ÃÁ¦Ç° ÇüÅ·Π°³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ Á¦Ç°µµ ÇϹݱ⠾ç»ê Å×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
À̹ۿ¡ ÁßÀå±âÀûÀ¸·Î ¼ÒÀçºÎÇ°±â¼ú°³¹ß»ç¾÷ Á¤ºÎ°úÁ¦·Î 2021³âºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ Àü °øÁ¤ ¿þÀÌÆÛ 10§¬(³ª³ë¹ÌÅÍ) Å©±âÀÇ °áÇÔ °Ë»ç¿ë ½ÉÀڿܼ±(DUV) ±¤ÇÐ ±â¼úÀ» ¿¬±¸ °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â "¼º°øÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ê¾÷ ºÐ¾ßÀÇ ÇØ¿Ü ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ôÀº ÀåºñµéÀ» ±¹»êÈÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼ °Ë»çÀåºñ ÇÙ½É ±â¾÷À¸·Î¼ÀÇ ÀÔÁö¸¦ È®°íÈ÷ ÇÒ °èȹÀÌ´Ù"¶ó°í ¸»Çß´Ù