¼¼ÄÚ È÷·Î½Ã°Ô ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷»ó/»çÁø=AFP |
Áö³ 8ÀÏ ÀϺ» ´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀ̽Ź®¿¡ µû¸£¸é ÀϺ»ÀÇ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò(¿¡Äª°¡½º) »ý»ê¾÷üÀÎ ¸ð¸®Å¸ÈÇÐÀº ¿ÃÇØ ¾È¿¡ Áß±¹ ÇÕÀÛ °øÀå¿¡¼ °í¼øµµ ºÒȼö¼ÒÀÇ »ý»êÀ» ½ÃÀÛÇØ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Áß±¹ °øÀåÀ̳ª Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ ȸ»ç¿¡ ³³Ç°ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ¿äûÀÌ ÀÖÀ» ½Ã Çѱ¹¿¡µµ Á÷Á¢ ÃâÇÏÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸µµµÆ´Ù.
´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀÌ´Â "ºÒȼö¼Ò¿Í ·¹Áö½ºÆ®¸¦ ÀϺ» ¿Ü Áö¿ª¿¡¼ »ý»êÇؼ Çѱ¹À¸·Î ¼öÃâÇÏ´Â °ÍÀº À̹ø ±ÔÁ¦Á¶Ä¡ ´ë»ó¿¡¼ ¿¹¿Ü"¶ó¸ç "´ÜÁö »ý»ê¼³ºñ³ª ¿ø·á¸¦ ÀϺ»¿¡¼ (¸¸µé¾î¼) Çѱ¹À̳ª Áß±¹ µîÀ¸·Î ¼öÃâÇÒ ¶§ ½É»çµÉ °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
ºÒȼö¼Ò´Â ¸Þ¸ð¸®¿Í ºñ¸Þ¸ð¸®¸¦ °¡¸®Áö ¾Ê°í ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àü¹Ý¿¡ Æø³Ð°Ô ¾²ÀÌ´Â Çʼö ¼ÒÀç´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀ» ȸ·Î ¼³°è´ë·Î ±ð¾Æ³»´Âµ¥ ¾²À̴µ¥ ºÒȼö¼ÒÀÇ ¼øµµ´Â ±âÆÇÀ» Á¤¹ÐÇÏ°Ô ±ð¾Æ³¾ ¼ö ÀÖ´À³Ä¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ£´Ù. ÀϺ»Àº Àü¼¼°è °í¼øµµ ºÒȼö¼ÒÀÇ 70%¸¦ »ý»êÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù.
¸ð¸®Å¸ÈÇÐÀº 2³â ÀüºÎÅÍ Áß±¹¿¡¼ÀÇ »ý»êÀ» °ËÅäÇßÀ¸³ª À̹ø º¸µµ¿¡ µû¸£¸é Áß°£Àç·áÀÇ ºÒȼö¼Ò»Ó ¾Æ´Ï¶ó °í¼øµµ Á¦Ç°±îÁö Áß±¹¿¡¼ ÀÏ°ü »ý»êÇÏ´Â µî °ø±ÞÀÇ ¼ö´ÜÀ» ´Ã¸± ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¸ð¸®Å¸ÈÇÐÀÇ ¾ß½º¿À »çÀåÀº "¾ÕÀ¸·Îµµ ÇÑÀÏ °£ ºñ½ÁÇÑ ¹®Á¦°¡ »ý°åÀ» ¶§¿¡´Â ÀϺ» ´ë½Å Áß±¹¿¡¼ Çѱ¹À¸·Î ÃâÇÏÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °Í"À̶ó°í ¸»ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
¸¶ÀÌ´ÏÄ¡¿¡ µû¸£¸é ¸ð¸®Å¸ÈÇÐÀº 7¿ù ¸» ÀÌÈÄ ¼öÃâÀº ¸ØÃá »óÅÂÀÌ¸ç ¸ð¸®Å¸ÈÇÐ °ü°èÀÚ´Â "¼·ù¸¦ Á¤ºñÇصµ ½É»ç°¡ ¾î·Á¿ö ¼öÃ⠽ñâ Àü¸Áµµ ¼Áö ¾Ê´Â´Ù"¸ç "¿ì¸®´Â 'µµ¸¶ À§ À×¾î(º»ÀÎÀÇ ÀÇÁö·Î ¾Æ¹«°Íµµ ÇÒ ¼ö ¾ø´Â »óȲ)'"À̶ó°í ÇÑźÇß´Ù.
ÀϺ» Á¤ºÎ´Â Áö³´Þ 4ÀϺÎÅÍ Çѱ¹¿¡ ´ëÇØ ¡â°í¼øµµ ºÒȼö¼Ò ¡âÇ÷ç¿À¸° Æú¸®ÀÌ¹Ìµå ¡âÆ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® µî 3Ç°¸ñ¿¡ ´ëÇØ ¼öÃâ½É»çÀýÂ÷¸¦ °ÈÇß´Ù.
ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷¼ºÀº ÀüÀÏ Çѱ¹À¸·ÎÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÇٽɼÒÀç ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ °ÈÇÑ Áö ÇÑ ´Þ ¸¸¿¡ óÀ½À¸·Î ÇÑ °ÇÀÇ ¼öÃâÀ» Çã°¡ÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ¼¼ÄÚ È÷·Î½Ã°Ô ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷»óÀº "¾öÁ¤ÇÑ ½É»ç¸¦ °ÅÃÄ ¾ÈÀüº¸Àå ¿ì·Á°¡ ¾ø´Â °Å·¡ÀÓÀ» È®ÀÎÇÑ ¾È°Ç¿¡ ´ëÇؼ´Â ÀÌ¹Ì ¼öÃâÀ» Çã°¡Çß´Ù"¸ç "°³º°»ç·Ê´Â ¿ø·¡ °ø°³Ä¡ ¾ÊÁö¸¸ Çѱ¹ Á¤ºÎ°¡ ÀÌ Á¶Ä¡¿¡ ´ëÇØ ±Ý¼ö(¼öÃâ±ÝÁö)¶õ ºÎ´çÇÑ ºñÆÇÀ» ÇÏ°í ÀÖ¾î ¿¹¿ÜÀûÀ¸·Î ¹àÈ÷°Ô µÆ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
´çÃÊ ½É»ç¿¡ 90ÀÏ Á¤µµ °É¸± °ÍÀ̶õ ¿¹»óº¸´Ù ºü¸¥ Çã°¡¿©¼ ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ °¿ÂÃ¥À» ¹ö¸° °Í ¾Æ´Ï³Ä´Â Çؼ®µµ ³ª¿ÔÁö¸¸ ÀϺ» ±â¾÷µé ³»¿¡¼´Â 'ÇâÈÄ¿¡µµ ÀýÂ÷°¡ ¼øÁ¶·Ó°Ô ÁøÇàµÉÁö ºÒÅõ¸íÇÑ °Í'À¸·Î º¸°í ´ëÃ¥¿¡ ³ª¼°í ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù.
ÀüÀÏ ½É»ç¸¦ Åë°úÇÑ Ç°¸ñÀº ¼öÃâ±ÔÁ¦ 3Ç°¸ñ Áß ÇϳªÀÎ EUV(±ØÀڿܼ±) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀÌ´Â "½Å¿¡Ã÷ ÈÇаø¾÷ÀÇ Á¦Ç°À¸·Î º¸¿©Áø´Ù"¸ç "(ÇØ´ç Ç°¸ñÀº) »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ½Ã½ºÅÛ LSI ºÐ¾ß¿¡¼ »ç¿ëµÈ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÀÚ±¸Ã¥ ¸¶·Ã¿¡ ³ª¼± °ÍÀº ¸ð¸®Å¸ÈÇÐ »Ó¸¸ÀÌ ¾Æ´Ï´Ù. EUV¿ë ·¹Áö½ºÆ®¸¦ »ý»êÇÏ´Â µµÄì¿ÀÄ« °ø¾÷µµ ÀϺ» ¿Ü Áö¿ªÀÎ Çѱ¹ °øÀå¿¡¼ÀÇ Áõ»êÀ» °ËÅäÁßÀÌ¶ó º¸µµµÆ´Ù. µµÄì¿ÀÄ« °ø¾÷Àº ¹ÝµµÃ¼¿ë ·¹Áö½ºÆ® ±Û·Î¹ú ½ÃÀåÁ¡À¯À² 20~30%°¡·®À» Â÷ÁöÇÏ°í Àִ ȸ»ç·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
ÇÑÆí, ÀϺ»ÀÇ Áö³´Þ ÃÊ ¼öÃâ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡¿¡ À̾î ÀÌ´Þ ÃÊ Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ 'ÈÀÌÆ®¸®½ºÆ®(¹é»ö±¹°¡¡¤¼öÃâ½É»ç ¿ì´ë±¹)' Á¦¿Ü±îÁö À̾îÁøµ¥ µû¸¥ ¹ÝÇâÀ» º¸°í ÀϺ» ³»¿¡¼Á¶Â÷ 'À߸ø ÆÇ´ÜÇÑ °Ô ¾Æ´Ï³Ä'´Â ȸÀÇ·ÐÀÌ »ý±â°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸µµµÆ´Ù.
9ÀÏ ¸¶ÀÌ´ÏÄ¡½Å¹®Àº "ÀÚÄ¡´Üü¿Í ½ºÆ÷Ã÷ ±³·ùµµ Áß´ÜÀÌ ÀÕµû¸£ÀÚ ÀϺ» Á¤ºÎ °ü°èÀÚ´Â '¿¹»óº¸´Ù ¼Ò¶õÀÌ Ä¿Á³´Ù'¸ç '¿À»ê'À» ÀÎÁ¤ÇÑ´Ù(°í ¸»Çß´Ù)"¸ç "Çѱ¹¿¡ ´ëÇØ ¼öÃâÇã°¡¸¦ °øÇ¥ÇÏ°í ³ÃÁ¤ÇÑ ´ëÀÀÀ» Ã˱¸ÇÏ¸é¼ 'º»È¯'ÀΠ¡¿ë ¹®Á¦¸¦ ´Ù½Ã ÇÑ ¹ø Ã˱¸ÇÒ °èȹ"À̶ó°í º¸µµÇß´Ù.