»ï¼ºÀüÀÚ (63,000¿ø ¡å100 -0.16%)°¡ ³»³â »ó¹Ý±â¿¡ 40³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) ¹Ì¼¼È¸·Î °øÁ¤¿¡ '¹°'À» È°¿ëÇÑ ¿þÀÌÆÛ °¡°ø °øÁ¤ÀÎ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ(Immersion Lithography: ¾×ħ ³ë±¤)¸¦ µµÀÔÇØ ³½µåÇ÷¡½Ã ¾ç»ê¿¡ µé¾î°£´Ù.
¾×ħ(¹°¿¡ ´ã±×´Â) ³ë±¤°øÁ¤Àº ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ¿Í ³ë±¤±â(»çÁø±â¿Í °°Àº ¿ªÇÒ) »çÀÌ¿¡ ¹°À» ÅõÀÔÇØ ±âÁ¸¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ ±¤¿øÀÇ ÆÄÀåÀ» ÁÙÀÓÀ¸·Î½á ´õ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ »õ±æ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀÌ´Ù.
23ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ ¸Þ¸ð¸®»óÇ°±âȹÆÀ ÀüÁØ¿µ »ó¹«´Â "³»³â »ó¹Ý±â 40³ª³ë ³½µåÇ÷¡½Ã ¾ç»ê ¶§ºÎÅÍ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ °øÁ¤À» µµÀÔÇÒ °Í"À̶ó¸ç "À̸¦ À§ÇÑ Àåºñ¹ßÁÖ¿¡ µé¾î°¬´Ù"°í ¹àÇû´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀϺΠ50³ª³ë °øÁ¤¿¡¼ Ãʱâ´Ü°èÀÇ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ °øÁ¤À» µµÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Àü »ó¹«´Â "Àüü ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ¾à 25 ´Ü°èÀÇ ³ë±¤ °øÁ¤ Áß¿¡ 40³ª³ë °øÁ¤ ÀüȯÀ» À§ÇØ 4-5 ´Ü°è¿¡ ÀÌ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ·Î ±³Ã¼ÇØ 40³ª³ë °øÁ¤À¸·Î ÀüȯÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÇöÀçÀÇ ¹Ì¼¼È¸·Î °øÁ¤À» ÁøȽÃÅ°´Âµ¥ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ ¹°ÀÇ ±¼Àý·üÀ» ÀÌ¿ëÇÑ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ °øÁ¤À» ³»³â 40³ª³ë ³½µåÇ÷¡½Ã »ý»êºÎÅÍ º»°Ý µµÀÔÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÔ²² ÇÏÀ̴нº (157,100¿ø ¡ã4,300 +2.81%)³ª ÀϺ»ÀÇ µµ½Ã¹Ùµµ 40³ª³ë±Þ °øÁ¤¿¡ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ °øÁ¤À» µµÀÔÅ°·Î ÇÏ°í ¿¬±¸°³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí, À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼ ´õ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ »õ±â·Á¸é ´õ ªÀº ÆÄÀåÀÇ ±¤¿øÀ» °¡Áø ³ë±¤±â°¡ ÀÖ¾î¾ß Çϴµ¥, ÀÌ ±â¼úÀº ±âÁ¸ ³ë±¤±â¿¡¼ ¾à°£ º¯ÇüµÈ Àåºñ·Î ¹°ÀÇ ±¼Àý·üÀ» ÀÌ¿ëÇØ ÆÄÀåÀ» ÁÙÀÌ´Â °ÍÀÌ´Ù.
¾î¶² ¹°ÁúÀÇ ±¼Àý·üÀÌ ³ôÀ¸¸é ºûÀÌ À̸¦ Åë°úÇÒ ¶§ ÆÄÀåÀÌ Âª¾ÆÁö´Â µ¥¼ Âø¾ÈÇØ °ø±â(±¼Àý·ü 1.0)º¸´Ù ±¼Àý·üÀÌ ³ôÀº ¹°(1.36¡1.44)À» »ç¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
ÀÌ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÒ °æ¿ì ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â 193³ª³ë¹ÌÅÍ(nm)ÀÇ ArF(Ç÷ç¿À¸° ¾Æ¸£°ï) ±¤¿øÀÇ ÆÄÀåÀ» 134³ª³ë¹ÌÅÍ Á¤µµ·Î 31% °¡·® ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ¾î °°Àº ³ë±¤Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇÏ´õ¶óµµ ´õ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ »õ±æ ¼ö ÀÖ´Â ¿ø¸®´Ù.
- VIEW 11,702
- 2007.10.24 14:39
³ë±¤±â¿Í ¿þÀÌÆÛ »çÀÌ ¹° ÅõÀÔ...¹Ì¼¼È¸·Î ±â¼ú ÁøÈ
°ü·Ã±â»ç°ü·Ã±â»ç
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¡®µ·ÀÌ º¸ÀÌ´Â ¸®¾óŸÀÓ ´º½º¡¯ ¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ. ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷, AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö>
|
¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ ÁÖ¿ä´º½º
¼ºµ¿±¸ ±¹Æò, 3ÁÖ ¸¸¿¡ 6000¸¸¿ø '¶Ò'¡¦´ëÃâ±ÔÁ¦ ¾à¹ß ÅëÇß³ª- K-¹æ»ê, Áßµ¿¼ 3.7Á¶ ÀèÆÌ¡¦LIG³Ø½º¿ø 'õ±ÃII', À̶óÅ© ¶Õ¾ú´Ù
- SKÇÏÀÌ Ãæ°ÝÀÇ ¸ñÇ¥°¡ ÀÌƲ Àü "´ë·® ¸Åµµ"¡¦¼ö»óÇÑ ¸ð°£½ºÅĸ®
- ¿ì¸® µ¿³× °øÀÎÁß°³»çµéÀº ¹ú½á ´À²¼´Ù..."Áý°ª 4%´ë Ç϶ô"
- "MBK¡¤¿µÇ³ ¸Â¼³ 'Çʽ Àü·«' ®´Ù"¡¦°í·Á¾Æ¿¬ ÃÖÀ±¹üÀÇ Ä«µå ³Ý
- ´Üµ¶ GC³ì½ÊÀÚÀ£ºù, ŹÝÁÖ»çÁ¦ ¶óÀ̳ØÁÖ Áß±¹ ½ÂÀÎ
- ³· Áø·á¡¤¹ã ´çÁ÷ 7°³¿ù°¡¦"ÀÌ¹Ì ¹ø¾Æ¿ô, ¿ÃÇØ ¾È¿¡ »çÁ÷" ±³¼öµé È£¼Ò