Å°¿òÁõ±ÇÀº 24ÀÏ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî¿¡ ´ëÇØ "1ºÐ±â ¸ÅÃâ¾× 1427¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 338¾ï¿øÀ¸·Î ½ÃÀå ÄÁ¼¾¼½º¿¡ ºÎÇÕÇß´Ù"¸ç ÅõÀÚÀÇ°ß ¸Å¼ö¿Í ¸ñÇ¥ÁÖ°¡ 22¸¸¿øÀ» À¯ÁöÇß´Ù.
¹ÚÀ¯¾Ç ¿¬±¸¿øÀº "1ºÐ±â ¸ÅÃâ¾×Àº Ư¼ö°¡½º(NF3, WF6)ÀÇ ÃâÇÏ È£Á¶¿Í ¿¬°á ¹ýÀÎ(SKÆ®¸®ÄÍ, SK¼î¿Íµ§ÄÚ)ÀÇ ½ÅÁ¦Ç° ÃâÇÏ È¿°ú·Î ÀüºÐ±â ´ëºñ ¼ÒÆø ¼ºÀåÇßÁö¸¸, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº ÀÏȸ¼º ºñ¿ë ¹Ý¿µ°ú ¿ø´Þ·¯ ȯÀ² Ç϶ô, ¿øÀç·á °¡°Ý ±Þµî µîÀ¸·Î ÀÎÇØ ÀüºÐ±â ´ëºñ Ç϶ôÇß´Ù"¸ç "¿¬°á¹ýÀÎ Áß SKÆ®¸®ÄÍÀº ½Å±Ô Precursor¸¦ °ø±ÞÇϱ⠽ÃÀÛÇϸç 35¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâ¾×À» ±â·ÏÇß°í SK¼î¿Íµ§ÄÚ ¿ª½Ã C4F6¸¦ ½Å±Ô °ø±ÞÇϸç 15¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâ¾×À» ±â·ÏÇßÀ» °ÍÀ¸·Î °¢°¢ ÃßÁ¤µÈ´Ù"°í ºÐ¼®Çß´Ù.
2ºÐ±â¿¡´Â ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 394¾ï¿øÀ» ±â·Ï, ÅϾî¶ó¿îµå°¡ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î °üÃøµÆ´Ù. ¹Ú ¿¬±¸¿øÀº "2ºÐ±â ¸ÅÃâ¾× 1546¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 390¾ï¿øÀ¸·Î ºÐ±â ½ÇÀû ¼ºÀå¼¼°¡ Àç°³µÉ Àü¸Á"À̶ó¸ç "Ư¼ö°¡½º Áß NF3´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÆòÅðøÀå°ú Áß±¹ BOEÀÇ 10.5¼¼´ë °øÀåÀÇ Ramp-up È¿°ú·Î ÃâÇÏ·®°ú °¡°ÝÀÌ ¸ðµÎ »ó½ÂÇÏ°í WF6´Â ±¹³»¿Ü 3D NAND ¾÷ü ³» Á¡À¯À² »ó½ÂÀÌ º»°Ý鵃 °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù"°í ³»´ÙºÃ´Ù.
¿¬°á¹ýÀÎÀÇ ½ÇÀûµµ ¸ÅÃâ¾× 380¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 85¾ï¿øÀ¸·Î Å« Æø ¼ºÀåÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ¿¬°á ¹ýÀÎ Áß SK¿¡¾î°¡½º´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ »ý»ê¿ë ÀÏ¹Ý °¡½º¸¦ °ø±ÞÇÏ¸ç ¸ÅÃâ¾×ÀÌ ÀüºÐ±â ´ëºñ 11% ¼ºÀåÇÒ Àü¸ÁÀÌ°í, SKÆ®¸®ÄÍÀº ¹ÝµµÃ¼ Precursor °ø±Þ·®ÀÌ È®´ëµÇ¸ç Å« ÆøÀÇ ¸ÅÃâ¾× ¼ºÀåÀ» ±â·ÏÇÒ °ÍÀ¸·Î °üÃøµÈ´Ù. SK¼î¿Íµ§ÄÚ ¿ª½Ã C4F6 ½ÃÀå Á¡À¯À² È®´ë¸¦ º»°ÝÈÇϸç ÀüºÐ±â ´ëºñ 80%ÀÇ ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀ» ±â·ÏÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
- 2018.04.24 07:53
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