Ç¥ÁØ¿¬ Ç¥¸éºÐ¼®ÆÀ ¿¬±¸ÁøÀÌ Ãʹڸ· µÎ²²¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ°í ÀÖ´Ù.(Á¦°ø:Ç¥ÁØ¿¬)© ´º½º1 |
À̹ø¿¡ °³¹ßµÈ ±â¼úÀº ±¹Á¦È¸ÀÇ¿¡¼ ÇÏÇÁ´½»êȸ·ÀÇ ±âÁØ µÎ²²¸¦ °áÁ¤ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î äÅõǴ µî ±¹Á¦±âÁØÀ¸·Î È°¿ëµÈ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ÁýÀûȸ·Î Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼´Â ±âÆÇ »êȸ·À» ¾ã°í ±ÕÀÏÇÑ µÎ²²·Î Á¦¾îÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏ´Ù.
»êȸ·Àº Ç¥¸éÀ» º¸È£ÇÔ°ú µ¿½Ã¿¡ ÀüÀÚÀÇ À̵¿À» Á¶ÀýÇÏ´Â µî ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÀüÀÚƯ¼º ¹× ȸ·Î¼³°èÀÇ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ±â´ÉÀÌ´Ù.
Áö±Ý±îÁö ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼´Â Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ(TEM), ºÐ±¤Å¸¿ø°èÃø±â(SE), ¿¢½º¼±¹Ý»çÃøÁ¤±â(XRR) µîÀ¸·Î »êȸ· µÎ²²¸¦ ÃøÁ¤Çß´Ù.
¹®Á¦´Â ÀÌ·¸°Ô ÃøÁ¤ÇÑ »êȸ·ÀÇ µÎ²²°¡ ½ÇÁ¦ µÎ²²¿Í Å« Â÷À̸¦ º¸¿´´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ±×µ¿¾È ¹ÝµµÃ¼ »êȸ· µÎ²²ÃøÁ¤ÀÇ ±âÁØÀ¸·Î È°¿ëµÇ´ø ¿¢½º¼±±¤ÀüÀںᤱâ(XPS)ÀÇ °æ¿ì ÃøÁ¤ ±âÁØÀ¸·Î È°¿ëµÇ±â ¾î·Æ´Ù´Â °ÍÀ» ¹àÇô³»°í, Áß¿¡³ÊÁöÀ̿»ê¶õºÐ±¤±â(MEIS)¸¦ ±× ´ë¾ÈÀ¸·Î Á¦½ÃÇß´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº µÎ²²ÃøÁ¤¿¡ ´ëÇÑ Ã¼°èÀûÀÎ ºñ±³ ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ MEISÀÇ °æ¿ì XPS¿Í ´Ù¸£°Ô µÎ²² °áÁ¤ ±âÁØÀÌ º¯ÈµÇÁö ¾Ê´Â´Ù´Â »ç½ÇÀ» ½ÇÇèÀ» ÅëÇØ Áõ¸íÇß´Ù.
±¹³» Áß¼Ò±â¾÷¿¡¼ °³¹ßÇÑ MEIS Àåºñ´Â ³ª³ë¹ÌÅÍ±Þ µÎ²² ¹Ú¸·ÀÇ Á¶¼º, ºÐÆ÷µµ, °áÁ¤±¸Á¶ ¹× µÎ²²¿¡ °üÇÑ Á¤º¸¸¦ ¿øÀÚÃþÀÇ ±íÀÌ ºÐÇØ´ÉÀ¸·Î ºÐ¼®ÇÒ ¼ö Àֱ⿡ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ºñ·ÔÇÑ Ã·´Ü¼ÒÀÚ Á¦ÀÛ °øÁ¤ÀÇ ÃøÁ¤ Àåºñ·Î È°¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù.
MEIS´Â ±¹Á¦µµ·®ÇüÀ§¿øȸ(BIPM) ¹°Áú·®ÀÚ¹®À§¿øȸ(CCQM) °øµ¿¿¬±¸ÀÎ ÆÄÀÏ·µ ¿¬±¸¿¡¼ ³ª³ë¹Ú¸· µÎ²²ÃøÁ¤ÀÇ »õ·Î¿î ±âÁØÀ¸·Î ÀÎÁ¤¹Þ¾Ò´Ù.
XPS¿¡ ÀÇÇÑ ±âÁØ µÎ²² °áÁ¤¿¡ ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇØ, ¼¼°è ±¹°¡ÃøÁ¤Ç¥Áرâ°ü Àü¹®°¡µéÀÇ ÇùÀǸ¦ ÅëÇØ MEIS¸¦ È°¿ëÇØ ±âÁØ µÎ²²¸¦ °áÁ¤ÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
Ç¥ÁØ¿¬ ±è°æÁß Ã¥ÀÓ¿¬±¸¿øÀº ¡°À̹ø ¼º°úÀÇ ÇÙ½ÉÀº ¹ÝµµÃ¼ »êȸ·ÀÇ ÃÊÁ¤¹Ð Àý´ë µÎ²²¸¦ ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±¹»ê ÷´Ü ÃøÁ¤ ÀåºñÀÇ °¡´É¼ºÀ» È®ÀÎÇÑ °Í¡±À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÇÑÆí, À̹ø ¿¬±¸°á°ú´Â ÃøÁ¤°úÇÐ ºÐ¾ßÀÇ ¼¼°èÀû ÇмúÁöÀÎ ¡®¾îÇöóÀÌµå ¼ÆäÀ̽º »çÀ̾𽺡¯ 15ÀÏÀÚ ¿Â¶óÀÎÆÇ¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù.
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ´º½º1ÄÚ¸®¾Æ, ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>