À̳¯ Çù¾à½Ä¿¡´Â µ¿ÀÇ°úÇÐ´ë ±è¿µµµ ÃÑÀå, ±è´ë°æ ±³¹«Ã³Àå, ¹ÝµµÃ¼°ú ÀÌ»óÇÐ, Àå¹®¼® ±³¼ö, ¢ßFST À¯º´Ã¶ Àü¹«ÀÌ»ç, ±è¿µÈÆ »ó¹« µî ¾ç ±â°ü °ü°èÀÚ 10¸íÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
À̹ø Çù¾àÀº ´ëÇаú ±â¾÷ÀÌ Çù·ÂÇØ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß ¼ö¿ä ¸ÂÃãÇü ÀÎÀ縦 ¾ç¼ºÇÏ°íÀÚ ¸¶·ÃµÆ´Ù. ÀÌ¿¡ µ¿ÀÇ°úÇдë´Â ¿À´Â 2023Çг⵵ºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼°ú¸¦ ½Å¼³ÇÑ´Ù. ¸ðÁýÁ¤¿øÀº 30¸íÀÌ¸ç ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¡¤È¸·Î¼³°è, ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¿î¿ë µî ½Ç¹« À§ÁÖ ±³À°À» ÁøÇàÇÑ´Ù.
Áö³ 1987³â ¼³¸³µÈ ¢ßFST´Â ¹ÝµµÃ¼¡¤FPD Æ÷Å丶½ºÅ© º¸È£¸· ¼ÒÀçÀÎ Æ縮Ŭ(Pellicle)°ú ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ è¹öÀÇ ¿Â¡¤½Àµµ¸¦ Á¶ÀýÇϴ ĥ·¯(Chiller)¸¦ ±¹³»¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô »ý»êÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼³ºñ ¹× ¼ÒÀç Àü¹®¾÷ü´Ù.
À̹ø Çù¾àÀ» ÅëÇØ ¾ç ±â°üÀº »ê¾÷ü ¼ö¿ä¿¡ ¸Â´Â ¿ì¼öÀη ¾ç¼ºÀ» À§ÇØ Ã¤¿ë ¿¬°èÇü ÁÖ¹®½Ä ±³À°°úÁ¤À» °øµ¿À¸·Î ¿î¿µÇÑ´Ù. ±³À°°úÁ¤À» À̼öÇÑ Çлý¿¡°Ô´Â ÇØ´ç ±â¾÷À¸·Î Ãë¾÷ Áö¿ø ½Ã ä¿ë ¿ì´ë ÇýÅà µîÀÌ ºÎ¿©µÈ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ÇöÀå±â¹Ý ÇнÀ°ø°£ ±¸Ãà°ú ±âÀÚÀçÀÇ °øµ¿ È°¿ë, ´ëÇÐ ÇöÀå °ßÇаú ÇöÀå½Ç½À Áö¿ø µî¿¡¼ Àû±Ø Çù·ÂÇÑ´Ù.
Çù¾à½Ä ÀÌÈÄ¿¡´Â ½Å±ÔÀη ä¿ë ¸éÁ¢ÀÌ ÁøÇàµÆ´Ù.
Àå¹®¼® ±³¼ö´Â "À̹ø Çù¾àÀ» ÅëÇØ ±¹³»¸¦ ³Ñ¾î ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç¿Í Àåºñ¸¦ ¼±µµÇÏ´Â FST¶ó´Â µçµçÇÑ µ¿¹ÝÀÚ¸¦ ¸¸³ª ±â»Ú´Ù"¸ç "¾ç ±â°üÀÌ Çù·ÂÇØ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°ú Àåºñ À¯Áöº¸¼ö¸¦ À§ÇÑ ¿ì¼ö Àü¹®ÀηÂÀ» ¾ç¼ºÇϴµ¥ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù.