/·ÎÀÌÅÍ=´º½º1 |
´ÖÄÉÀÌ´Â Áß±¹ ÇØ°üÃѼ(¼¼°ü)ÀÇ ¼öÃâÀÔ µ¥ÀÌÅͺ£À̽º¸¦ ºÐ¼®ÇØ, Áö³ 3ºÐ±â Áß±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê Àåºñ ¼öÀԱݾ×ÀÌ À۳⠵¿±â ´ëºñ 93% Áõ°¡ÇÑ 634¾ïÀ§¾È(11Á¶4100¾ï¿ø)¿¡ ´ÞÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ±¹°¡ º°·Î´Â ³×´ú¶õµå·ÎºÎÅÍ ¼öÀÔ Áõ°¡ÆøÀÌ 6.1¹è¿¡ ´ÞÇß´Ù. ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê Àåºñ Áß ³ë±¤Àåºñ(³ë±¤±â) ¼öÀԱݾ×ÀÌ 3.9¹è ´Ã¾ú´Ù.
³ë±¤(Photolithography) °øÁ¤Àº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ÀÇ ÇÙ½É °øÁ¤À¸·Î ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬¡¤10¾ïºÐÀÇ 1m) ´ÜÀ§ÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ ±×¸°´Ù. ÀϺ» ij³íµµ ³ë±¤Àåºñ¸¦ »ý»êÇÏÁö¸¸, ³×´ú¶õµåÀÇ ASMLÀÌ ³ë±¤Àåºñ ½ÃÀåÀ» Àå¾ÇÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Áö³ÇØ 10¿ù ¹Ì±¹Àº ¡â18³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬¡¤10¾ïºÐÀÇ 1m) ÀÌÇÏ D·¥ ¡â128´Ü ÀÌ»ó ³½µåÇ÷¡½Ã ¡â14/16§¬ ÀÌÇÏ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ÀåºñÀÇ Áß±¹ ¼öÃâÀ» ÅëÁ¦ÇÑ´Ù°í ¹ßÇ¥ÇßÀ¸¸ç ¿Ãµé¾î ³×´ú¶õµå, ÀϺ»µµ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¸¦ °ÈÇϱ⠽ÃÀÛÇß´Ù.
¹Ì±¹ÀÌ °è¼ÓÇؼ ´ëÁß ¹ÝµµÃ¼ ¼öÃâ ÅëÁ¦¸¦ °ÈÇÏÀÚ Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÌ Àåºñ »çÀç±â¿¡ ³ª¼¸é¼ 3ºÐ±â ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀåºñ ¼öÀԱݾ×ÀÌ ±ÞÁõÇÑ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ÀÌ½Ã³ë ¸¶»çÈ÷ÄÚ µµÄ«À̵µÄìÁ¶»ç¼¾ÅÍ ¼±ÀÓ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÌ ³×´ú¶õµå Àåºñ ¼öÀÔÀÌ ¸·Èú °¡´É¼ºÀ» ¿¹»óÇÏ°í ½Ç¼ö¿ä¿Í °ü°è¾øÀÌ ¼µÑ·¯ ÁÖ¹®ÇÑ °Í °°´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ASMLÀÇ 3ºÐ±â ¸ÅÃâ¿¡¼ Áß±¹ ºñÁßÀº 46%·Î Àü³â(14%) ´ëºñ Å« Æø »ó½ÂÇß´Ù. 10¿ù ½ÇÀû ¹ßÇ¥¿¡¼ ASMLÀº Áß±¹ »ç¾÷¿¡ ´ëÇØ "¼öÃâ°ü¸® ±ÔÁ¦¸¦ ÁؼöÇÏ¸é¼ ¼º¼÷¼¼´ë¿Í Áß°£¼¼´ë¿ë ³ë±¤ ½Ã½ºÅÛÀ» ÆǸÅÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
Áö³ 2019³âºÎÅÍ 7³ª³ë ÀÌÇÏ Ã·´Ü ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ÀåºñÀÇ Áß±¹ ¼öÃâÀÌ ±ÝÁöµÆ±â ¶§¹®¿¡ ½ÉÀڿܼ±(DUV) ³ë±¤Àåºñ¸¦ Áß±¹¿¡ ¼öÃâÇÏ°í ÀÖ´Ù´Â Àǹ̷ΠÇؼ®µÈ´Ù.
Áö³ 8¿ù¸» È¿þÀÌ°¡ ¹ßÇ¥µÈ 5G½º¸¶Æ®Æù '¸ÞÀÌÆ®60 ÇÁ·Î'¿¡ žÀçµÈ 7³ª³ë ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÇÁ·Î¼¼¼(AP) '±â¸°9000s'µµ Áß±¹ SMIC°¡ DUV Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇؼ »ý»êÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
¹Ì±¹ Àü·«±¹Á¦¹®Á¦¿¬±¸¼Ò(CSIS)´Â Áö³ 10¿ù ¹ßÇ¥ÇÑ º¸°í¼¿¡¼ SMICÀÇ ±â¼ú·ÂÀÌ ¹ßÀüÇØ ¼º¼÷°øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëÇÏ´ø ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇصµ ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»êÀÌ °¡´ÉÇØ º¸ÀÎ´Ù°í ºÐ¼®Çß´Ù. CSIS´Â "³×´ú¶õµå°¡ ¼öÃâÀ» Á¦ÇÑÇÏ´Â °ÍÀº ÃÖ÷´Ü Á¦Ç° »ý»ê¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ³ë±¤Àåºñ"¶ó¸ç "(¼º¼÷°øÁ¤¿ë ³ë±¤Àåºñ) Ãß°¡ ±¸¸Å·Î SMICÀÇ 7³ª³ë ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê´É·ÂÀÌ Çâ»óµÉ ¼ö ÀÖ´Ù"°í °æ°íÇß´Ù.