»ï¼ºÀüÀÚ DS ºÎ¹® ¹ÌÁÖ ÃÑ°ý »ç¿Á(DSA)/»çÁøÁ¦°ø=»ï¼ºÀüÀÚ |
28ÀÏ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é »ï¼ºÀüÀÚ DS(¹ÝµµÃ¼)ºÎ¹®Àº ÃÖ±Ù ¹Ì±¹ ½Ç¸®Äܹ븮¿¡ À§Ä¡ÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹ÌÁÖÃÑ°ý(DSA)¿¡ 'R&D-Dram Path Finding' Á¶Á÷À» ¸¸µé¾ú´Ù. ¹ÝµµÃ¼¿¬±¸¼Ò »êÇÏ Á¶Á÷À¸·Î, ¼ÛÀçÇõ »ï¼ºÀüÀÚ DS ºÎ¹® ÃÖ°í±â¼úÃ¥ÀÓÀÚ(CTO) °â ¹ÝµµÃ¼¿¬±¸¼ÒÀåÀÌ Á÷Á¢ À̲ö´Ù. ÀÌ Á¶Á÷Àº 3D D·¥ ¼±Á¦ ¿¬±¸¿¡ ÃÊÁ¡À» ¸ÂÃá´Ù.
Áö³ 17ÀÏ¿¡ ¿¸° ½Å±Ô Á¶Á÷ ¿ÀǽĿ¡´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¼¼°è 1À§ ±â¾÷ ¾îÇöóÀ̵å¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî(AMAT)¸¦ ºñ·ÔÇØ ·¥(LAM)¸®¼Ä¡, KLA µî À¯¼ö Àåºñ»çµéÀÇ ÁÖ¿ä °æ¿µÁø°ú ¹ÝµµÃ¼ ¼®ÇеéÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 3D D·¥¿¡ ½ÂºÎ¼ö¸¦ °É¾ú´Ù. ÀÌÁ¤¹è ¸Þ¸ð¸®»ç¾÷ºÎ »çÀåÀº Áö³ÇØ 10¿ù ½Ç¸®Äܹ븮¿¡¼ '¸Þ¸ð¸® Å×Å© µ¥ÀÌ'¸¦ ¿°í "10³ª³ë¹ÌÅÍ(nm¡¤1nm=10¾ïºÐÀÇ 1m) ÀÌÇÏ D·¥¿¡ 3D ¼öÁ÷ ½Å±¸Á¶¸¦ °¡Àå ¸ÕÀú µµÀÔÇÏ°Ú´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
ÇöÀç D·¥Àº ´ÜÀÏ Æò¸é¿¡ µ¥ÀÌÅÍ ÀúÀå ±âº»´ÜÀ§ÀÎ ¼¿À» ÃÎÃÎÈ÷ ¹èÄ¡ÇÑ 2D ±¸Á¶´Ù. ¼¿ÀÇ È¸·Î ¼±ÆøÀÌ Á¼À¸¸é Á¼À»¼ö·Ï, Áï ÁýÀûµµ°¡ ³ôÀ»¼ö·Ï ¼º´É°ú È¿À²ÀÌ ÁÁ´Ù. »õ·Î¿î ±¸Á¶¿Í ¼ÒÀ縦 µµÀÔÇÏ¸ç ¼¿ Å©±â¸¦ ÁÙ¿©°¡´Â ¹æÇâÀ¸·Î ¹ßÀüÇØ¿ÔÁö¸¸, °øÁ¤ ¼±ÆøÀÌ ÁÙ¸é¼ ÇÑÁ¤µÈ ¸éÀû¿¡ ¼¿À» ÃÖ´ëÇÑ ¹ÐÁýÇÏ´Â ¹Ì¼¼È°øÁ¤µµ ÇÑ°è¿¡ Á÷¸éÇß´Ù. ÀÌ¿¡ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀº Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ¼öÁ÷À¸·Î ´ÙÃþ ÀûÃþÇÏ´Â 3D ¹æ½ÄÀÌ D·¥ Æз¯´ÙÀÓÀ» ¹Ù²Ü °ÍÀÌ¶ó º¸°í ±â¼ú ¼±Á¡¿¡ ¿À» ¿Ã¸®°í ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó SKÇÏÀ̴нº, ¸¶ÀÌÅ©·Ð µî Åé 3 ¸Þ¸ð¸®±â¾÷ ¸ðµÎ 3D D·¥ ±â¼ú ¼±Á¡À» À§ÇØ ¾Õ´ÙÅý °³¹ß ÁßÀÌ´Ù. â½Å¸Þ¸ð¸®(CXMT), Áß±¹°úÇпø µî Çѱ¹ ¸Þ¸ð¸® ±â¾÷µéÀ» ºü¸£°Ô µÚÂÑ°í ÀÖ´Â Áß±¹ D·¥ ±â¾÷°ú ¿¬±¸±â°üÀÌ ÃÖ±Ù ÀÕµû¶ó 3D D·¥¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸ °á°ú¸¦ ¹ßÇ¥Çϱ⵵ Çß´Ù.
¾÷°è´Â ±â¼ú ±¸ÇöÀÌ ¾î·Á¿î 3D D·¥À» °¡Àå ¸ÕÀú °³¹ß¡¤¾ç»êÇÏ´Â ±â¾÷ÀÌ Â÷¼¼´ë D·¥ ½ÃÀå ½Â±â¸¦ ÀâÀ» °ÍÀÌ¶ó º»´Ù. ³½µåÇ÷¡½Ã ½ÃÀå¿¡¼ ¹ú¾îÁö°í ÀÖ´Â ´Ü¼ö °æÀïÀÌ D·¥À¸·Î ¿Å°ÜÁö°í ÀÖ´Â ¼ÀÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â »õ·Î ¸¸µç 3D D·¥ ¿¬±¸°³¹ß Á¶Á÷À» Áß½ÉÀ¸·Î ½Ç¸®Äܹ븮¿¡¼ ¿ì¼ö °³¹ßÀηÂÀ» Àû±Ø ¿µÀÔÇÏ°í, ´Ù¾çÇÑ ¹ÝµµÃ¼ »ýÅ°è¿Í Çù·ÂÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "»ï¼ºÀüÀÚ°¡ Áö³ 30³â°£ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ 1À§¸¦ ÁöÄÑ¿ÔÁö¸¸, ÃÖ±Ù ±â¼ú °ÝÂ÷°¡ Á¼ÇôÁö¸ç Çõ½ÅÀ» ¸ØÃß¸é µû¶óÀâÈú °Å¶õ À§±â°¨ÀÌ ÀÖ¾úÀ» °Í"À̶ó¸ç "ÈÄ¹ß ÁÖÀÚ Ãß°ÝÀ» µûµ¹¸®±â À§Çؼ ±âÁ¸ÀÇ Æ²À» ±ú´Â 3D D·¥¿¡ ½ÂºÎ¼ö¸¦ °É¾ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù.