»çÁøÁ¦°ø=ÆÄÀμַç¼Ç |
ÆÄÀμַç¼Ç(´ëÇ¥ À̱⿬)Àº ¿Ü±¹ ±â¾÷ÀÌ Àå¾Ç ÁßÀÎ ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ Àåºñ ÇÙ½É ºÎÇ° APC(Auto Pressure Controller)¿Í ALD(Atomic Layer Deposition) ¹ëºê¸¦ ÀÚü °³¹ß, ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇÑ ¾÷ü´Ù. CDG(Capacitance Diaphragm Gauge) ¿Ü ´Ù¾çÇÑ ºÎÇ°À» ±¹»êÈÇÏ°íÀÚ Èû¾²°í ÀÖ´Ù. ±¹³»¿Ü °í°´»çÀÇ ¾ç»ê ¶óÀο¡ ³³Ç°À» Áغñ ÁßÀÌ´Ù. ¾÷ü °ü°èÀÚ´Â "Áö³ÇØ ¾à 3¾ï¿øÀÇ Ãʵµ ¸ÅÃâÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î ¿ÃÇغÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ°±º¿¡¼ 100¾ï¿ø ÀÌ»óÀÇ ¸ÅÃâÀ» ±â´ëÇÑ´Ù"¸ç "±Û·Î¹ú ºÎÇ° ȸ»ç·Î µµ¾àÇÏ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù.