26ÀÏ(ÇöÁö ½Ã°£) µ¶ÀÏ ¿À¹öÄÚÇî ZEISS º»»ç¸¦ ¹æ¹®ÇÑ ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀÌ Ä® ¶÷ÇÁ·¹È÷Æ® (Karl Lamprecht) ZEISS±×·ì CEO¿Í ¾Ç¼öÇÏ´Â ¸ð½À/»çÁøÁ¦°ø=»ï¼ºÀüÀÚ |
ÀÌ È¸ÀåÀº ÀÚÀ̽º °æ¿µÁø°ú ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ±â¼ú Æ®·»µå ¹× ¾ç»çÀÇ ÁßÀå±â ±â¼ú ·Îµå¸Ê¿¡ ´ëÇØ ³íÀÇÇÏ°í, ÀÚÀ̽º °øÀåÀ» ¹æ¹®ÇØ ÃֽŠ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ°¡¤Àåºñ°¡ »ý»êµÇ´Â ¸ð½ÀÀ» »ìÆìºÃ´Ù. À̳¯ ÀÌ È¸ÀåÀÇ ÀÚÀ̽º º»»ç Àå¹®¿£ ¼ÛÀçÇõ »ï¼ºÀüÀÚ DS(µð¹ÙÀ̽º¼Ö·ç¼Ç)ºÎ¹® CTO(ÃÖ°í±â¼úÃ¥ÀÓÀÚ), ³²¼®¿ì »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹® Á¦Á¶&±â¼ú´ã´ç »çÀå µî ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê±â¼úÀ» ÃÑ°ýÇÏ´Â °æ¿µÁøÀÌ µ¿ÇàÇß´Ù.
26ÀÏ(ÇöÁö ½Ã°£) µ¶ÀÏ ¿À¹öÄÚÇî ZEISS º»»ç¸¦ ¹æ¹®ÇÑ ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸Àå(¿ÞÂÊ¿¡¼ µÎ¹ø°)ÀÌ ÃֽŠ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ »ìÆ캻 µÚ Ä® ¶÷ÇÁ·¹È÷Æ®(Karl Lamprecht) ZEISS±×·ì CEO(¿ÞÂÊ¿¡¼ ¼¼¹ø°), ¾Èµå·¹¾Æ½º ÆäÇã(Andreas Pecher) ZEISS SMT(Semiconductor Manufacturing Technology) CEO(¿ÞÂÊ¿¡¼ ù¹ø°)¿Í ÇÔ²² ±â³ä»çÁøÀ» ÃÔ¿µÇÏ´Â ¸ð½À /»çÁøÁ¦°ø=»ï¼ºÀü |
ÀÌ È¸ÀåÀÇ À̹ø ¹æ¹®À» °è±â·Î »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÀÚÀ̽º´Â ÇâÈÄ EUV ±â¼ú ¹× ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ °ü·Ã ºÐ¾ß¿¡¼ÀÇ Çù·ÂÀ» ´õ¿í È®´ëÇϱâ·Î Çß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÚÀ̽º¿ÍÀÇ ±â¼ú Çù·ÂÀ» ÅëÇØ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¡â¼º´É °³¼± ¡â»ý»ê °øÁ¤ ÃÖÀûÈ ¡â¼öÀ² Çâ»óÀ» ´Þ¼ºÇÏ¸ç ¸Þ¸ð¸®¿Í ÆÄ¿îµå¸®(½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) »ç¾÷ °æÀï·ÂÀ» ´õ¿í ²ø¾î¿Ã¸°´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿ÃÇØ ¾È¿¡ EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇÑ 6¼¼´ë 10³ª³ë±Þ D·¥À» ¾ç»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¶Ç ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå¿¡¼± EUV ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î 3³ª³ë ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼°øÁ¤ ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÑ´Ü ¸ñÇ¥¸¦ ¼¼¿ü´Ù.
26ÀÏ(ÇöÁö ½Ã°£) µ¶ÀÏ ¿À¹öÄÚÇî ZEISS º»»ç¸¦ ¹æ¹®ÇÑ ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀÌ ZEISS Á¦Ç°À» »ìÆ캸´Â ¸ð½À/»çÁøÁ¦°ø=»ï¼ºÀüÀÚ |
ÀÌ È¸ÀåÀº À̹ø ÃâÀå¿¡¼ ÀÚÀ̽º°¡ À§Ä¡ÇÑ µ¶ÀÏ ¿Ü¿¡µµ ÇÁ¶û½º, ÀÌÅ»¸®¾Æ µîÀ» ¹æ¹®ÇØ ºñÁî´Ï½º ¹ÌÆà ¹× À¯·´½ÃÀå Á¡°Ë, ÁÖÀç¿ø °£´ãȸ µîÀÇ ÀÏÁ¤À» ¼ÒÈÇÒ ¿¹Á¤ÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.