³×´ú¶õµå ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷ ASMLÀÇ Áß±¹ÀÎ Á÷¿øÀÇ ±â¹Ð Àýµµ ¼Ò½ÄÀ» ÀüÇÏ´Â ³×´ú¶õµå °æÁ¦¸Åü ÇìÆ® Çdz¾¾¿¤·¹ ´ÙÈåºí¶óÆ®(HFD) º¸µµ. /»çÁø=HFD À¥»çÀÌÆ® °¥¹«¸® |
º¸µµ¿¡ µû¸£¸é ASML ¹Ì±¹ Ķ¸®Æ÷´Ï¾Æ »êÈ£¼¼ Áö»ç ¿¬±¸°³¹ß ºÎ¼¿¡¼ ÀÏÇÏ´ø 6¸íÀÇ Áß±¹ÀÎ Á÷¿øµéÀº ³»ºÎ ³×Æ®¿öÅ©¸¦ ÅëÇØ ¼Ò½ºÄÚµå, ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î, °¡°Ý Ã¥Á¤ Àü·«, »ç¿ëÀÚ ¸Å´º¾ó µî ±â¹Ð ÀڷḦ ´ë°Å »©³Â´Ù. ±×µéÀÎ ÀÌÈÄ 2014³â ¼³¸³µÈ ASMLÀÇ Áß±¹°è °æÀï»ç XTAL¿¡ ÀڷḦ ³Ñ°å´Ù.
±â¹Ð ÀڷḦ È®º¸ÇÑ XTALÀº ºü¸£°Ô ¼ºÀåÇÏ¸é¼ »ï¼ºÀüÀÚ µî ´ëÇü °í°´À» À¯Ä¡ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù´Â °ÍÀÌ ASML ÃøÀÇ ÁÖÀåÀÌ´Ù. XTALÀÇ ¸ð±â¾÷Àº Áß±¹ µÕÆΡÀ¢ÀüÀÚ(ÔÔÛ°ïÜê¹Ú°ï³í)·Î Áß±¹ °úÇбâ¼úºÎÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
ASMLÀº XTALÀ» ±â¼ú Àýµµ ÇøÀÇ·Î ¹Ì Ķ¸®Æ÷À̳ª ¹ý¿ø¿¡ °í¼ÒÇß°í, Áö³ÇØ ¸» Ķ¸®Æ÷´Ï¾Æ ¹ý¿øÀº XTALÀÌ ASML¿¡ 2¾ï2300¸¸´Þ·¯¸¦ ¹è»óÇ϶ó°í ÆÇ°áÇß´Ù.
HFD´Â "À̹ø ÀÏ¿¡ Áß±¹ Á¤ºÎ°¡ °³ÀÔÇß´ÂÁö¿¡ ´ëÇÑ ¸íÈ®ÇÑ Áõ°Å´Â ¹ß°ßµÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù"°í Çß´Ù. ±â¹Ð À¯Ãâ·Î ASMLÀÌ ÀÔÀº ¼ÕÇØ´Â ¼ö¾ï À¯·Î¿¡ ´ÞÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.