¡¼¼¿ï=´º½Ã½º¡½ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÌ ÇöÀå°æ¿µ¿¡ ³ª¼± 6ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ Ãµ¾È »ç¾÷ÀåÀ» ¹æ¹®ÇØ, »ç¾÷Àå ³» ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰ¡ ¶óÀÎÀ» µÑ·¯º¸°í ÀÖ´Ù ÀÌ¿¡ ¾Õ¼ À̳¯ ÀÌ ºÎȸÀåÀº »ï¼ºÀüÀÚ ¿Â¾çÄ·ÆÛ½º(Ãæû³²µµ ¾Æ»ê ¼ÒÀç)µµ ¹æ¹®Çß´Ù. ¶Ç, Áö³ 5ÀÏ ¿ÀÈÄ ±ä±Þ »çÀå´Ü ȸÀǸ¦ °®°í ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ Çѱ¹ 'ÈÀÌÆ®¸®½ºÆ®' Á¦¿Ü Á¶Ä¡¿¡ µû¸¥ À§±â »óȲ Á¡°Ë°ú ¹Ì·¡ °æÀï·Â È®º¸ ¹æ¾È¿¡ ´ëÇØ ³íÀÇÇß´Ù. 2019.08.06. (»çÁø=»ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø) [email protected] |
°í¼øµµ ºÒȼö¼Ò(¿¡Äª°¡½º)¸¦ »ý»êÇÏ´Â ¸ð¸®Å¸(ßµï£) ÈÇаø¾÷ÀÇ ¸ð¸®Å¸ ¾ß½º¿À »çÀåÀº Áö³ 8ÀÏ ´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀ̽Ź®°úÀÇ ÀÎÅͺ信¼ "Áß±¹¿¡¼ »ý»êÇØ Çѱ¹À¸·Î ¼öÃâÇÏ´Â °ÍÀ» °ËÅäÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç À§±â°¨À» µå·¯³Â´Ù.
¸ð¸®Å¸ÈÇÐÀÇ ¸ÅÃâ¿¡¼ Çѱ¹ÀÌ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀº ¹«½ÃÇÒ ¼ö ¾ø´Â ¼öÁØÀÌ´Ù. ¸ð¸®Å¸ »çÀåÀº "Áö³ÇØ 6¿ù ±âÁØ ¸ÅÃâ 117¾ï¿£(¾à 1341¾ï¿ø)¿¡¼ Çѱ¹À¸·Î ¼öÃâÇÏ´Â ¿¡Äª°¡½º°¡ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀº ¾à 30%ÀÎ 40¾ï¿£(¾à 458¾ï¿ø)À̾ú´Ù"¸ç "ÇÑ ´Þ¸¸ ¼öÃâÀÌ ´ÊÃçÁ®µµ 3¾ï¿£(¾à 34¾ï¿ø)ÀÌ ºüÁö´Â ¼À"À̶ó°í °Á¶Çß´Ù. ±×´Â À̾î "Áö±Ý Çѱ¹¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ¿¡Äª°¡½º´Â ÀϺ»»êÀÌ 60%¸¦ Á¡À¯ÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ À̹ø »çÅ·ΠÀϺ» ±â¾÷ÀÇ Á¡À¯À²Àº Ç϶ôÇÒ °Í"À̶ó¸ç "´çÀåÀº °ßµô ¼ö ÀÖÁö¸¸ ÇÑ°è°¡ ´Ù°¡¿À°í ÀÖ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
¸ð¸®Å¸ÈÇÐÀº ¿ÃÇØ ¾ÈÀ¸·Î Áß±¹ ÀúÀ强 °øÀå¿¡¼ ¿¡Äª°¡½º »ý»êÀ» º»°ÝÀûÀ¸·Î ½ÃÀÛÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ¸ð¸®Å¸ ÈÇÐÀº ÇöÀçµµ ÀϺΠÁß±¹ °øÀå¿¡¼ ¿¡Äª°¡½º¸¦ »ý»êÇÑ ÈÄ ÀϺ»¿¡¼ ¼øµµ¸¦ ³ô¿© ÃâÇÏÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ ÇâÈÄ ¼øµµ¸¦ ³ôÀÌ´Â °úÁ¤±îÁö Áß±¹¿¡¼ Á÷Á¢ ÇÏ°Ú´Ù´Â ¹æħÀÌ´Ù.
´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀÌ´Â Çѱ¹ÀÌ ÈÀÌÆ®¸®½ºÆ®(¼öÃâ ÀýÂ÷ °£¼Òȱ¹°¡)¿¡¼ Á¦¿ÜµÅ B±×·ì ±¹°¡·Î Àü¶ôÇßÁö¸¸, ¿ÀÈ÷·Á C±×·ì¿¡ ÀÖ´Â Áß±¹À̳ª ´ë¸¸º¸´Ù ¼öÃâÇϱ⠱î´Ù·Î¿öÁ³´Ù°í ÀüÇß´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç 3°³Ç°¸ñ(¿¡Äª°¡½º, Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ®, Ç÷ç¿À¸° Æú¸®ÀÌ¹Ìµå µî)À» Çѱ¹¿¡ ¼öÃâÇÒ ¶§¸¶´Ù ¹Ýµå½Ã ¼öÃâ ´ç±¹ÀÇ °³º°Çã°¡°¡ ÇÊ¿äÇØÁ³±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. Áß±¹°ú ´ë¸¸¿¡ ¿¡Äª°¡½º¿Í Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ®¸¦ ¼öÃâÇÒ ¶§´Â ÇÑ ¹ø Çã°¡¸¦ ¹ÞÀ¸¸é °°Àº ¼öÃâó¿¡ ´ëÇؼ´Â 3³â °£ Áö¼ÓµÇ´Â Æ÷°ýÇã°¡Á¦°¡ Àû¿ëµÇ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
¼öÃâ ½Åû ÀÚüµµ º¹ÀâÇØÁ³´Ù. ¸ð¸®Å¸ »çÀåÀº "¼öÃâ ½Åû ½Ã ÇÊ¿äÇÑ ¼·ù°¡ 3°³¿¡¼ 9°³·Î ´Ã¾î³µ°í ¹«¾ùº¸´Ù »ï¼ºÀüÀÚ³ª SKÇÏÀ̴нº µî ÃÖÁ¾ ¼ö·ÉÀÚ°¡ Á¦Ç°À» ¾î¶»°Ô »ç¿ëÇÏ´ÂÁö±îÁö ¼³¸íÇØ¾ß ÇÑ´Ù"¸ç "Áö±Ý±îÁö´Â ÇÑ´Þ¿¡ ÇÑ ¹ø °è¾à ¹°·®À» ¹èÆíÀ¸·Î ¿î¼ÛÇßÁö¸¸ Áö±ÝÀº ÇØ´ç °è¾à¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ Çã°¡°¡ ³ª¿Ã ¶§±îÁö ±â´Ù·Á¾ß ÇÑ´Ù"°í Çß´Ù.
¸ð¸®Å¸ »çÀåÀº Áö³ 8ÀÏ ½Å¿¡¾²(ãáêÆ) ÈÇаø¾÷ÀÌ Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® Çѱ¹ ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ¹ÞÀº °Íó·³ ´ç±¹ÀÇ ºü¸¥ Çã°¡¸¦ ¿äûÇϸç "Çѱ¹¿¡ ÀÖ´Â ¿ì¸®ÀÇ ¿¡Äª°¡½º Àç°í°¡ ÇÑ´Þ ÈÄ ¹Ù´ÚÀÌ ³¯ °Í"À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
ÀÌ °°Àº »óȲÀ» °Þ°í ÀÖ´Â ÀϺ» ±â¾÷Àº ¸ð¸®Å¸ÈÇи¸ÀÌ ¾Æ´Ï´Ù. ÃÖ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë ·¹Áö½ºÆ® Á¦Á¶¾÷ü µµÄì¿ÀÄ«°ø¾÷(TOK)Àº "Á¦Ç° ¼öÃâÀ» À§ÇØ Çѱ¹ ÀÎõ °øÀå¿¡¼ÀÇ Áõ»ê ¹æ¾ÈÀ» °ËÅäÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í ¹àÇû´Ù. ´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀÌ´Â Áö³ 7¿ù Áß¼ø ¿¡Äª°¡½º Çѱ¹ ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ½ÅûÇÑ ¼î¿Íµ§ÄÚ(SDK) ¿ª½Ã "°æÁ¦»ê¾÷¼ºÀÇ ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ±â´Ù¸®°í ÀÖ´Ù"°í º¸µµÇß´Ù.