»ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º 2¶óÀÎ °ø»ç ÇöÀå/»çÁø=ÀÌÁ¤Çõ ±âÀÚ |
±× µÚ·Î ¸Ö¸®¼µµ ÇÑ´«¿¡ º¸ÀÌ´Â ¼ö½Ê ¹ÌÅÍÂ¥¸® ÃÊ´ëÇü Ÿ¿öÅ©·¹ÀÎ 11°³´Â ¼ ÀÖ´Â ÀÚü¸¸À¸·Î ÇöÀå ºÐÀ§±â¸¦ ¾ÐµµÇß´Ù. ¿©±âÀú±â¼ Èñ¹ÌÇÏ°Ô ¿ï·Á ÆÛÁö´Â ¸ÁÄ¡ ¼Ò¸®¿Í µå¸±¼ÒÀ½Àº ºø¼Ó¿¡¼µµ °ø»ç°¡ ÇÑâÀÓÀ» ¾Ë·È´Ù.
EUV(÷´Ü ±ØÀڿܼ±) ÆÕ °ø»çÀå¿¡¼ ¸¸³ ÇöÀå °ü°èÀÚ´Â "¹è°ü°ø»ç µî °¢Á¾ ¼³Ä¡ ÀÛ¾÷¿¡ ´Ùµé ºÐÁÖÇÏ°Ô ¿òÁ÷ÀÌ°í ÀÖ´Ù"¸ç "±âÃÊ°ø»ç´Â ¿¹Àü¿¡ ³¡³µÁö¸¸ ÁØ°ø±îÁö´Â ¾ÆÁ÷ ÇÑÂü ³²¾Ò´Ù"°í ºÐÀ§±â¸¦ ÀüÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º EUV °ø»ç ÇöÀå¿¡ Çù·Â¾÷ü Á÷¿øµéÀÌ Ãâ±ÙÇÏ°í ÀÖ´Â ¸ð½À/»çÁø=ÀÌÁ¤Çõ ±âÀÚ |
ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º´Â »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷Àå °¡¿îµ¥ °¡Àå ±Ô¸ð°¡ Å« ȼº»ç¾÷Àå(¾à 159¸¸§³)º¸´Ù µÎ¹è °¡±îÀÌ ³Ð´Ù. ÇÏ·ç Æò±Õ ÅõÀԵǴ °Ç¼³ Àη¸¸ 1¸¸2000¿© ¸í. Äڷγª19 »çÅ ÀÌÈÄ Á¤¹Ð¹æ¿ª¿¡ ÃÑ·ÂÀ» ±â¿ïÀÏ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Ù.
°ø±³·Ó°Ôµµ À̳¯ ÆòÅýÿ¡¼ Äڷγª19 5¹ø° È®ÁøÀÚ°¡ ³ª¿ÔÁö¸¸ 2¶óÀÎ °ø»ç¿¡´Â º°´Ù¸¥ ¿µÇâÀÌ ¾ø´Â ¸ð½ÀÀÌ´Ù. ¿ÀÈ÷·Á À̸¦ °è±â·Î °ø»çÀå º¸¾È°ú À§»ý°ü¸®¿¡ °¢º°È÷ ½Å°æ ¾²´Â Àå¸éÀÌ °÷°÷¿¡¼ ¸ñ°ÝµÆ´Ù.
Á¤¹®¿¡¼ °É¾î¼ 5ºÐ °Å¸®ÀÇ »ç¹«2µ¿ ½ÅÃà°ø»çÀå ÃâÀÔ±¸¿¡´Â £Àº »ö °í±Û°ú ¸¶½ºÅ©¸¦ ¾´ º¸¾È¿ä¿øÀÌ ºñÁ¢ÃË½Ä Ã¼¿Â°è·Î ÇöÀå ÀηµéÀÇ Ã¼¿ÂÀ» ÀÏÀÏÀÌ Àç°í ÀÖ¾ú´Ù. ¸¸¾à Äڷγª19 °¨¿° ÀÇ½É ±âÁØ Ã¼¿ÂÀÎ 37.3µµ¸¦ ³ÑÀ¸¸é ¹Ù·Î ¿·¿¡ ¼³Ä¡ÇÑ ÆĶõ»ö AÇü ÅÙÆ®·Î Áï°¢ °Ý¸®µÇÁö¸¸, ´ÙÇàÈ÷ ÅÙÆ®¿¡´Â ¾Æ¹«·± ÀαâôÀÌ ¾ø¾ú´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º »ç¹«2µ¿ ½ÅÃà°ø»çÀå ÃâÀÔ±¸¿¡¼ º¸¾È¿ä¿øÀÌ ºñÁ¢ÃË½Ä Ã¼¿Â°è·Î ü¿ÂÀ» Àç°í ÀÖ´Ù/»çÁø=ÀÌÁ¤Çõ ±âÀÚ |
ȼºÄ·ÆÛ½º DSR(ºÎÇ°¿¬±¸) Ÿ¿ö¿¡¼ ¸¸³ ÇÑ Á÷¿øÀº "Äڷγª19·Î ¹ÝµµÃ¼ R&D(¿¬±¸¡¤°³¹ß)³ª »ý»ê¿¡ Â÷ÁúÀÌ »ý°å´Ù´Â °ÍÀº µé¾îº» ÀûÀÌ ¾ø´Ù"¸ç "ȸ»ç Àüü°¡ È®»ê ¹æÁö¿¡ °¢º°È÷ ½Å°æÀ» ¾²°í Àֱ⠶§¹®¿¡ Å« ¹®Á¦´Â ¾øÀ» °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º 2¶óÀÎ °Ç¼³ÇöÀå¿¡ ¼³Ä¡µÈ 'Äڷγª19 °Ý¸®½Ç'/»çÁø=ÀÌÁ¤Çõ ±âÀÚ |