¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØÀº ¼ÒºÎÀå ±¹»êÈ ÁÖ¿ä Ç°¸ñÀÇ ÇϳªÀÎ ºí·©Å© ¸¶½ºÅ© »ý»ê ¾÷ü´Ù. ºí·©Å© ¸¶½ºÅ©´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ³ë±¤°øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ºÎÇ° ¼ÒÀçÀÎ Æ÷Å丶½ºÅ©ÀÇ ¿øÀç·á·Î, ÀϺ» ¾÷ü°¡ ¾à 90%¸¦ Á¡À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ±¹»êÈ Çʼö Ç°¸ñÀ¸·Î ²ÅÈù´Ù.
À± ¿¬±¸¿øÀº ¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØÀÌ EUV(±ØÀڿܼ±)¿ë Æ縮Ŭ°ú ºí·©Å© ¸¶½ºÅ©¸¦ °³¹ß ÁßÀÌ¸ç °í°´»çÀÇ ´ë±Ô¸ð EUV Àåºñ µµÀÔ¿¡ µû¶ó ºü¸¥ ±¹»êÈ°¡ ±â´ëµÈ´Ù°í ¿¹ÃøÇß´Ù.
¶Ç "ÁÖ¿ä °í°´»çÀÎ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ºñ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ È®´ë Àü·«¿¡ µû¶ó ÅõÀÚ°¡ È®´ëµÇ°í ÀÖ´Ù"¸ç "»ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÁöºÐ ÅõÀÚ ÀÌÈÄ °í°´»ç ³» Á¡À¯À²ÀÌ ±¹»êÈ Ãß¼¼¿Í ¹ß¸ÂÃç Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù"°í ³»´ÙºÃ´Ù.
º¸°í¼°¡ ¹ß°£µÈ Áö³ÇØ 10¿ù 3¸¸3700¿øÀÌ´ø ÁÖ°¡´Â »ó½ÂÀ» °ÅµìÇØ µÎ ´Þ ¸¸ÀÎ Áö³ÇØ 12¿ù ÀåÁß 4¸¸5800¿ø±îÁö ¿À¸£±âµµ Çß´Ù.