»ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅùݵµÃ¼ »ý»ê¶óÀÎ. /»çÁøÁ¦°ø=»ï¼ºÀüÀÚ |
2ºÐ±â ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀ» ³Ñ¾î¼´Â ±Ô¸ð´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â À̳¯ 2ºÐ±â ½ÇÀû ¹ßÇ¥¿¡¼ ¸ÅÃâÀÌ 63Á¶6716¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀÌ 12Á¶5667¾ï¿øÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
2ºÐ±â ÅõÀÚ´Â ºÎ¹®º°·Î ¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹®ÀÌ 12Á¶5000¾ï¿ø, µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÎ¹®ÀÌ 6000¾ï¿ø ¼öÁØÀÌ´Ù.
»ó¹Ý±â ´©°è ÅõÀÚ ±Ô¸ð´Â ¹ÝµµÃ¼ 20Á¶9000¾ï¿ø, µð½ºÇ÷¹ÀÌ 1Á¶4000¾ï¿ø µî ÃÑ 23Á¶3000¾ï¿øÀÌ´Ù.
¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹®¿¡¼ ÇâÈÄ ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ ´ëÀÀÇϱâ À§ÇÑ ÆòÅá¤½Ã¾È »ý»ê¶óÀÎ Áõ¼³°ú °øÁ¤ Àüȯ¿¡ ÅõÀÚ°¡ ÁýÁߵƴÙ.
ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) ºÎºÐ¿¡¼´Â EUV(±ØÀڿܼ±) ³ë±¤Àåºñ Àû¿ë 5³ª³ë °øÁ¤ µîÀÇ Áõ¼³À» Áß½ÉÀ¸·Î ÅõÀÚ°¡ ÁýÇàµÆ´Ù°í »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹àÇû´Ù.