È¿¼ºÈÇÐ º£Æ®³² °øÀå Àü°æ/»çÁøÁ¦°ø=È¿¼º |
13ÀÏ °ü·Ã ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é È¿¼ºÈÇÐÀº Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎ¹®À» ÀÚȸ»ç·Î ¶¼³½ µÚ ÅõÀÚ¸¦ ¹Þ´Â ¹æ¾ÈÀ» ³»ºÎÀûÀ¸·Î °ËÅäÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎ´Â »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3)¸¦ »ý»êÇÑ´Ù. NF3´Â ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â À̹°ÁúÀ» ¼¼Ã´ÇÏ´Â °úÁ¤¿¡ ¾²ÀδÙ.
È¿¼ºÈÇРƯ¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎ´Â ¿¬»ê 8000Åæ ±Ô¸ðÀÇ NF3 »ý»ê¼³ºñ¸¦ °®Ãß°í ÀÖ´Ù. SK½ºÆä¼ÈƼ¿Í Áß±¹ Æ丯¿¡ ÀÌ¾î ¼¼°è 3À§ ¼öÁØÀ¸·Î Æò°¡¹Þ´Â´Ù.
ºÐ»ç ÈÄ ÅõÀÚÀ¯Ä¡°¡ ¼º°øÀûÀ¸·Î ÀÌ·ïÁö¸é È¿¼ºÈÇÐÀÇ À繫 ºÎ´ãÀÌ ÁÙ¾îµé °ÍÀ̶õ Æò°¡´Ù. È¿¼ºÈÇÐÀº ¿ÃÇØ 3ºÐ±â±îÁö 8°³ ºÐ±â ¿¬¼Ó ÀûÀÚ¸¦ ±â·ÏÇÏ´Â µî Àڱݳ¿¡ ºüÁ®ÀÖ´Ù.
È¿¼ºÈÇÐ °ü°èÀÚ´Â "Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎ ºÐ»çÀÇ °æ¿ì ³»ºÎÀûÀ¸·Î °ËÅäÇÏ°í ÀÖÁö¸¸, ¾ÆÁ÷ È®Á¤µÈ ¹Ù ¾ø´Ù"°í ¸»Çß´Ù.