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  • 2023.12.15 05:30
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[º§Æ®È£º¥=´º½Ã½º] Á¶¼öÁ¤ ±âÀÚ = ³×´ú¶õµå¸¦ ±¹ºó ¹æ¹®ÇÑ À±¼®¿­ ´ëÅë·ÉÀÌ 12ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) º§Æ®È£º¥ ¹ÝµµÃ¼Àåºñ »ý»ê±â¾÷ÀÎ ASML º»»ç¿¡¼­ ºô·³(¿ÞÂÊ µÎ¹ø°) ¾Ë·º»ê´õ¸£ ³×´ú¶õµå ±¹¿Õ°ú Ŭ¸°·ëÀ» ½ÃÂûÇϸç Å©¸®½ºÅäÇÁ ǪÄÉ(¿ÞÂÊ ¼¼¹ø°) ASML ÃÖ°í»ç¾÷Ã¥ÀÓÀÚÀÇ ¼³¸íÀ» °æûÇÏ°í ÀÖ´Ù. (°øµ¿ÃëÀç) 2023.12.12.
±¹È¸°¡ »ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º·Î ÇâÇÏ´Â °æºÎ°í¼Óµµ·Î ¹ö½ºÀü¿ëÂ÷·Î ¿¬ÀåÀ» Ã˱¸ÇÏ°í ³ª¼¹´Ù. À±¼®¿­ ´ëÅë·ÉÀÇ ³×´ú¶õµå ±¹ºó ¹æ¹®À» °è±â·Î ¾ç±¹ÀÌ '¹ÝµµÃ¼ µ¿¸Í' °ü°è·Î °Ý»óÇÑ °¡¿îµ¥ ³ª¿Â ¿ä±¸¿©¼­ ½ÇÇö ¿©ºÎ°¡ ÁÖ¸ñµÈ´Ù.

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°í¼Óµµ·Î ¹ö½ºÂ÷·Î ¿¬Àå ±ÔÁ¦´Â °ü°è ±â°üµéÀÇ ÀÌÇØ°ü°è ¶§¹®¿¡ ´ëÇ¥ÀûÀÎ 'ÇÎÆþ±ÔÁ¦' Áß Çϳª·Î ²ÅÇô¿Ô´Ù. ¿¬ÀåÇÑ »ç·Ê´Â 30³â°£ ´Ü ÇÑ Â÷·Ê(2017³â °æºÎ¼±) ºÒ°úÇÒ Á¤µµ´Ù.


¿Ã ÃÊ »ê¾÷°è´Â »ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º EUV(±ØÀڿܼ±) Àü¿ë¶óÀÎ Áõ¼³ °ø»ç¿¡ ÇÏ·ç Æò±Õ 6¸¸~7¸¸ ¸í, ¸¹À» ¶§´Â 8¸¸¿© ¸íÀÇ ÀηÂÀÌ ÇѲ¨¹ø¿¡ ÅõÀԵǴ ¸¸Å­ 'ÇöÀç ¿À»êIC(³ªµé¸ñ)±îÁöÀÎ °æºÎ°í¼Óµµ·Î ¹ö½ºÀü¿ëÂ÷·Î¸¦ ¾È¼ºJC(ºÐ±âÁ¡)±îÁö ¿¬ÀåÀ» °ËÅäÇØ´Þ¶ó'·Î Á¤ºÎ¿¡ ¿äûÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ÃÖ÷´Ü EUV Àåºñ µµÀÔÀ» ÇÙ½ÉÀ¸·Î ÇÏ´Â »ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º Áõ¼³Àº ±¹³» ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ °ø»ç´Ù.

¾È¼ºÀÌ Áö¿ª±¸ÀÎ ±è ÀÇ¿øÀº ÇØ´ç ±¸°£ÀÇ ¹ö½ºÀü¿ëÂ÷·Î¸¦ ¾È¼ºIC±îÁö 5§° ´õ ´Ã·Á »ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º ÃâÅð±Ù Åë±Ù¹ö½º¸¦ ºñ·ÔÇØ ÆòÅÃ½Ã¿Í ¾È¼º½ÃÀÇ ±³ÅëÈ帧À» ¿øÈ°ÇÏ°Ô ÇؾßÇÑ´Ù´Â ÀÔÀåÀÌ´Ù. ÀÌ¿Í °ü·ÃÇØ °æÂûûÀº ¿ÃÇØ ±³Åë·® ÀáÁ¤ µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼®ÀÌ Âø¼öÇß´Ù.

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ƯÈ÷ À̹ø¿¡ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ASMLÀº 1Á¶¿øÀ» ÅõÀÚÇØ Çѱ¹¿¡ R&D(¿¬±¸¡¤°³¹ß) ¼¾Å͸¦ Áþ±â·Î ¹ßÇ¥Çß´Ù. ¾ÆÁ÷ ±¸Ã¼ÀûÀÎ ºÎÁö´Â °ø°³µÇÁö ¾Ê¾ÒÀ¸³ª »ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º°¡ ¼¼°è ÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼ °øÀåÀÎ °ÍÀ» °¨¾ÈÇϸé ÀÌ Áö¿ª ÀÏ´ë°¡ À¯·Â½ÃµÈ´Ù.

À̸¦ °è±â·Î ASMLÀÌ µ¿Åº¿¡ Áþ°í ÀÖ´Â '´º Ä·ÆÛ½º'(°æºÎ°í¼Óµµ·Î ¿À»êIC ºÎ±Ù) ¿Ï°ø¿¡µµ ¼Óµµ°¡ ºÙÀ» Àü¸ÁÀÌ´Ù. ÁöÇÏ 4Ãþ¡­Áö»ó 11Ãþ 2°³µ¿, ¿¬¸éÀû 7¸¸4418§³ ±Ô¸ð·Î °Ç¼³µÇ´Â °Ç¹°Àº EUV °ü·Ã ¾÷¹« ¹× ±³À° ¿¬±¸½Ã¼³ÀÌ µé¾î¼³ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

°ü°èºÎó´Â 14ÀÏ '¹ö½ºÀü¿ëÂ÷·Î ÇùÀÇü'¸¦ ¿­¾ú´Ù. ±¹ÅäºÎ¿Í µµ·Î°ø»ç´Â °æºÎ°í¼Óµµ·Î ¹ö½ºÀü¿ëÂ÷·Î ¿¬Àå¿¡ Âù¼ºÇÏ´Â ÂÊÀ¸·Î ÀÇ°ßÀ» ³½ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
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