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±è¸í¿î µð¿£¿¡ÇÁ ´ëÇ¥´Â 15ÀÏ "¿ÃÇØ ½Å»ç¾÷°ú ±âÁ¸»ç¾÷¿¡¼ °í¸£°Ô ½ÇÀûÀ» ³»¸é¼ Áö³Çغ¸´Ù 60% ÀÌ»ó ¸ÅÃâÀÌ Áõ°¡ÇÒ °Í"À̶ó¸ç "¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üÀº Áö³ÇØ 13%¿¡¼ ¿ÃÇØ 20% ÀÌ»óÀ¸·Î ´Ã¾î ¼öÀͼºµµ Çâ»óµÉ °Í"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
µð¿£¿¡ÇÁ´Â Áö³ÇØ ¸ÅÃâÀÌ Àü³âº¸´Ù 98% Áõ°¡ÇÑ 253¾ï¿øÀ¸·Î â»ç ÀÌ·¡ Ãִ븦 ±â·ÏÇß´Ù. ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº Àü³âº¸´Ù 89% ´Ã¾î³ 30¾ï¿øÀ̾ú´Ù. ±è ´ëÇ¥´Â 2¡3³â µ¿¾È ÁغñÇØ¿Â Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àç·á 2Á¾ÀÌ ¿ÃÇغÎÅÍ ¸ÅÃâÀ» º»°Ý鵃 °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇß´Ù.
±×´Â "¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤°øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â Àç·á(DPT, Double Patterning) ¹× °øÁ¤¹Ì¼¼È¿¡ Çʼö·Î ¾²ÀÌ´Â °íÀ¯Àüü ¹Ú¸·Àç·á(ÇÏÀÌÄÉÀÌÀç·á)¸¦ 5¿ùºÎÅÍ ±¹³» ¾÷ü¿¡ °ø±ÞÇÒ °Í"À̶ó¸ç "½Å»ç¾÷¿¡¼¸¸ ¿ÃÇØ 100¾ï¿ø ÀÌ»ó ¸ÅÃâÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
±×´Â "'ACL'(Amorphous Carbon Layer) ¹× 'SoD'(Spin on Dielectric) Àü±¸Ã¼ µî ±âÁ¸ Á¦Ç°±º ½ÇÀûµµ ²ÙÁØÈ÷ À̾îÁö´Â µî ½Å»ç¾÷°ú ±âÁ¸»ç¾÷ÀÌ °í¸£°Ô ½ÇÀû¿¡ ±â¿©ÇÏ¸é¼ ¿ÃÇØ ¸ÅÃâÀÌ Àü³âº¸´Ù 60% ÀÌ»ó ´Ã °Í"À̶ó¸ç "¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üµµ Áö³ÇØ 12%¿¡¼ ¿ÃÇØ 20% ÀÌ»óÀÌ µÉ °Í"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí ±×´Â ÁÖÁÖÀÌÀÍ ½ÇÇö°èȹÀ» ¹¯ÀÚ "¿ÃÇØ ¿¹»ó¸¸Å ½ÇÀûÀÌ ³ª¿À¸é ÀÛÀº ±Ô¸ð·Î ¹è´çµµ ½Ç½ÃÇÒ °ÍÀ» °ËÅäÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç "³»³â¿¡´Â ´õ Å« ±Ô¸ð·Î ¹è´çÀ» »ý°¢ÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í ´äÇß´Ù.