4ÀÏ À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ ÇÑ ÀÓ¿øÀº "¿ÃÇØ ½ÇÀûÀº »ó¹Ý±â¿¡ ÁÖÃãÇÏ°í ÇϹݱ⿡ ȸº¹µÇ´Â µî '»óÀúÇÏ°í'°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù"¸ç "ÇϹݱ⠽ýºÅ۹ݵµÃ¼(ºñ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼) Àåºñ µî¿¡¼ ¿¹»ó´ë·Î ¼º°ú°¡ ³ª¿Â´Ù¸é ¿ÃÇصµ Àü³âµµ¸¦ ¶Ù¾î³Ñ´Â ½ÇÀû ´Þ¼ºÀÌ °¡´ÉÇÒ °Í"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
½ÅÇѱÝÀ¶ÅõÀÚ´Â À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ ¿ÃÇØ ¸ÅÃâ°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀÌ Àü³â´ëºñ °¢°¢ 15.1%¿Í 5.4% ´Ã¾î³ 1936¾ï¿ø°ú 565¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇϸç, ¸ñÇ¥°¡¸¦ ±âÁ¸ 2¸¸8000¿ø¿¡¼ 3¸¸1000¿øÀ¸·Î »óÇâÇß´Ù.
À¯ÁøÅ×Å©´Â 1ºÐ±â ¸ÅÃâ°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀÌ Àü³âµ¿±â ´ëºñ °¢°¢ 66.4%¿Í 62.4% ÁÙ¾îµç 253¾ï¿ø°ú 68¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇϴµ¥ ±×ÃÆ´Ù. 2ºÐ±â¿¡µµ 1ºÐ±â¿Í ºñ½ÁÇϰųª Á¶±Ý »óȸÇÏ´Â ½ÇÀûÀÌ ¿¹»óµÇ´Â µî ¿Ã »ó¹Ý±â¿¡´Â ´Ù¼Ò ÀúÁ¶ÇÑ ¼ºÀûÇ¥¸¦ ³»³õÀ» Àü¸ÁÀÌ´Ù.
À¯ÁøÅ×Å©´Â ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø°øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â Àú¾Ð ÈÇÐÁõÂøÀåºñ(LP CVD) ºÐ¾ß¿¡ ÁýÁß, SKÇÏÀ̴нº ¹× »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÀÕ´Þ¾Æ °Å·¡ÇÏ¸ç ¼ºÀåÇß´Ù. ÀÌÈÄ ¹ÝµµÃ¼ Çö󽺸¶ ó¸®Àåºñ(Æ®¸®Æ®¸ÕÆ®)¿Í ¿øÀÚÃþ ÁõÂøÀåºñ(ALD, Cyclic CVD) µîÀ¸·Î Á¦Ç°±ºÀ» ´Ã·Á 2009³â 488¾ï¿ø, 2010³â 939¾ï¿ø, 2011³â 1308¾ï¿ø, 2012³â 1683¾ï¿ø µî Áö³ 4³â µ¿¾È ¸Å³â ÃÖ´ë ¸ÅÃâ ±â·ÏÀ» °¥¾ÆÄ¡¿ü´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¿Ã ÇϹݱâ Áß Áß±¹ ½Ã¾È¿¡ °Ç¼³ ÁßÀÎ ³½µåÇ÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ °øÀå¿¡ ¾²ÀÏ Àåºñ¸¦ ¹ßÁÖÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ¸é¼, À¯ÁøÅ×Å©´Â °ü·Ã ¼öÇýÁÖ·Î ºÎ°¢µÇ°í ÀÖ´Ù. ¶Ç ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¿¡ Æ¯ÈµÈ ALDÀåºñ¸¦ ºñ·ÔÇØ ±×µ¿¾È Çؿܾ÷ü°¡ µ¶Á¡ÇØ¿Â ´Ü°áÁ¤ ¼ºÀåÀåºñ(SEG) µîÀ» ¿¬³» Ãâ½Ã, ¿ÃÇرîÁö 5³â ¿¬¼Ó »ç»ó ÃÖ´ë ¸ÅÃâ ÇàÁøÀ» À̾´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
ÇÑÆí À¯ÁøÅ×Å©´Â ¿Ã ÇϹݱâ Àåºñ¼öÁÖ ±â´ë°¨ÀÌ °íÁ¶µÇ¸é¼ ÁÖ°¡°¡ Á÷Àü °Å·¡ÀÏ Á¾°¡(2¸¸3300¿ø)±âÁØÀ¸·Î ¿¬ÃÊ(1¿ù 2ÀÏ 1¸¸4250¿ø)´ëºñ 63.5% »ó½ÂÇß´Ù. Áö³ 5¿ù 31ÀÏ¿¡´Â ÁÖ°¡°¡ 2¸¸4800¿øÀ» ±â·ÏÇÏ¸é¼ 52ÁÖ ÃÖ°í°¡µµ °æ½ÅÇß´Ù.
¡èÀ¯ÁøÅ×Å© ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿ë Àú¾Ð ÈÇÐÁõÂøÀåºñ(LP CVD) |