¼Óº¸
VIP
ÅëÇÕ°Ë»ö

'Å»ÀϺ»' °¡¼Ó¡¦µ¿Áø½ê¹ÌÄÍ, Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® »ý»ê 2¹è¡è

¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ
  • ¼¼Á¾=¹Ú°æ´ã ±âÀÚ
  • Ä«Ä«¿ÀÅå °øÀ¯Çϱâ
  • Ä«Ä«¿ÀÅå ³ª¿¡°Ô Àü¼ÛÇϱâ
  • ÆäÀ̽ººÏ
  • Æ®À§ÅÍ
  • ³×À̹ö
  • ÅÚ·¹±×·¥
  • ¹®ÀÚ
  • 2020.01.15 13:40
  • ±ÛÀÚÅ©±âÁ¶Àý
Á¤½ÂÀÏ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ Â÷°ü / »çÁø=È«ºÀÁø ±âÀÚ honggga@
µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀÌ ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦ Ç°¸ñ Áß ÇϳªÀÎ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °øÀåÀ» Áõ¼³, ³»³â±îÁö »ý»ê·®À» µÎ ¹è·Î ´Ã¸°´Ù. ¹Ì±¹ µàÆù»ç°¡ ±¹³»¿¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °øÀåÀ» Áþ´Â µî ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ ºÐ¾ßÀÇ Å»ÀϺ»ÀÌ ¼Óµµ¸¦ ³»°í ÀÖ´Ù.

Á¤½ÂÀÏ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ Â÷°üÀº 15ÀÏ °æ±âµµ È­¼º½Ã¿¡ ÀÖ´Â µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀ» ¹æ¹®ÇØ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ±¹³»»ý»ê ÇöȲÀ» »ìÆìºÃ´Ù. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇٽɼÒÀç·Î ±âÆÇ À§¿¡ ÀüÀÚȸ·Î ÆÐÅÏÇü¼ºÀ» À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â °¨±¤Àç´Ù. Áö³­ÇØ 7¿ù ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ Çѱ¹À» ÇâÇØ ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ ´ÜÇàÇÑ 3´ë Ç°¸ñ Áß ÇϳªÀ̱⵵ ÇÏ´Ù.


µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀº ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¹Ù·Î Àü ´Ü°èÀÎ ¹ÝµµÃ¼¿ë ºÒÈ­¾Æ¸£°ï¾×ħ(ArF-immersion) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î °³¹ß¡¤»ý»êÇÏ°í ÀÖ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù. µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀº ³»³â ÃÊ Á¤»ó°¡µ¿À» ¸ñÇ¥·Î Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °øÀå Áõ¼³À» Âø°øÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. °øÀå Áõ¼³ÀÌ ¿Ï·áµÇ¸é Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® »ý»ê·®Àº 2¹è ÀÌ»ó ´Ã °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.

Á¤ºÎ´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ ÀϺ» ÀÇÁ¸µµ¸¦ ¼öÃâ±ÔÁ¦ ÀÌÈÄ ³·Ãß°í ÀÖ´Ù. ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦ ÀüÀÎ Áö³­ÇØ 1~6¿ù ´ëÀϺ» ¼öÀÔ ºñÁßÀº 92%¿´À¸³ª Áö³­ÇØ 7~12¿ùÀº 85%·Î ¶³¾îÁ³´Ù.

»ê¾÷ºÎ´Â º§±â¿¡(RMQC), ¹Ì±¹(µàÆù), µ¶ÀÏ(¸ÓÅ©) µî ÀϺ» ¿Ü ´Ù¸¥ ±¹°¡·Î Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÀÔ±¹À» ´Ùº¯È­ÇÑ °á°ú¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù. ƯÈ÷ µàÆùÀº ÃÖ±Ù EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °³¹ß¡¤»ý»êÀ» À§ÇØ Çѱ¹ ÅõÀÚ¸¦ °áÁ¤Çß´Ù.


Á¤ Â÷°üÀº "Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦ 3´ë Ç°¸ñÀº °ø±Þ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» È®º¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç "¿ÃÇظ¦ ¹Ì·¡ 10³âÀ» ¸¸µé¾î°¡´Â ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ »ê¾÷ °æÀï·Â È®º¸ ¿ø³âÀ¸·Î »ï°í °æÀï·Â °­È­Á¤Ã¥À» Áö¼ÓÀûÀÌ°í ÀÏ°üÀûÀ¸·Î ÃßÁøÇÏ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù.




¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ ÁÖ¿ä´º½º

ȸÀå´ÔÀÇ ±Íȯ¡¦¼¼ ¾Æµé »ç¾÷Àå µ¹¸ç '°ÇÀç °ú½Ã'ÇÑ ÀÌÀ¯
³×À̹ö ¸ÞÀο¡¼­ ¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ ±¸µ¶ Ä«Ä«¿ÀÅå¿¡¼­ ¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ Ã¤³Î Ãß°¡

º£½ºÆ®Å¬¸¯

¿À´ÃÀÇ ²ÜÆÁ

  • ´º½º ¼Ó ¿À´Ã
  • ´õ¿µ»ó
  • ³¯¾¾´Â?
  • ÇコÅõµ¥ÀÌ

¸¹ÀÌ º» ´º½º

ºÎµ¿»ê À¯Æ©ºê Á¤º¸Ã¤³Î ºÎ¸´Áö
2023 ´ëÇѹα¹ »çȸ¾ÈÀüÁö¼ö

Æ÷Åä / ¿µ»ó