Á¤½ÂÀÏ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ Â÷°ü / »çÁø=È«ºÀÁø ±âÀÚ honggga@ |
Á¤½ÂÀÏ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ Â÷°üÀº 15ÀÏ °æ±âµµ ȼº½Ã¿¡ ÀÖ´Â µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀ» ¹æ¹®ÇØ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ±¹³»»ý»ê ÇöȲÀ» »ìÆìºÃ´Ù. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇٽɼÒÀç·Î ±âÆÇ À§¿¡ ÀüÀÚȸ·Î ÆÐÅÏÇü¼ºÀ» À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â °¨±¤Àç´Ù. Áö³ÇØ 7¿ù ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ Çѱ¹À» ÇâÇØ ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ ´ÜÇàÇÑ 3´ë Ç°¸ñ Áß ÇϳªÀ̱⵵ ÇÏ´Ù.
µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀº ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¹Ù·Î Àü ´Ü°èÀÎ ¹ÝµµÃ¼¿ë ºÒȾƸ£°ï¾×ħ(ArF-immersion) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î °³¹ß¡¤»ý»êÇÏ°í ÀÖ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù. µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀº ³»³â ÃÊ Á¤»ó°¡µ¿À» ¸ñÇ¥·Î Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °øÀå Áõ¼³À» Âø°øÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. °øÀå Áõ¼³ÀÌ ¿Ï·áµÇ¸é Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® »ý»ê·®Àº 2¹è ÀÌ»ó ´Ã °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
Á¤ºÎ´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ ÀϺ» ÀÇÁ¸µµ¸¦ ¼öÃâ±ÔÁ¦ ÀÌÈÄ ³·Ãß°í ÀÖ´Ù. ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦ ÀüÀÎ Áö³ÇØ 1~6¿ù ´ëÀϺ» ¼öÀÔ ºñÁßÀº 92%¿´À¸³ª Áö³ÇØ 7~12¿ùÀº 85%·Î ¶³¾îÁ³´Ù.
»ê¾÷ºÎ´Â º§±â¿¡(RMQC), ¹Ì±¹(µàÆù), µ¶ÀÏ(¸ÓÅ©) µî ÀϺ» ¿Ü ´Ù¸¥ ±¹°¡·Î Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÀÔ±¹À» ´Ùº¯ÈÇÑ °á°ú¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù. ƯÈ÷ µàÆùÀº ÃÖ±Ù EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °³¹ß¡¤»ý»êÀ» À§ÇØ Çѱ¹ ÅõÀÚ¸¦ °áÁ¤Çß´Ù.
Á¤ Â÷°üÀº "Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦ 3´ë Ç°¸ñÀº °ø±Þ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» È®º¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç "¿ÃÇظ¦ ¹Ì·¡ 10³âÀ» ¸¸µé¾î°¡´Â ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ »ê¾÷ °æÀï·Â È®º¸ ¿ø³âÀ¸·Î »ï°í °æÀï·Â °ÈÁ¤Ã¥À» Áö¼ÓÀûÀÌ°í ÀÏ°üÀûÀ¸·Î ÃßÁøÇÏ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù.