SMEEÀÇ Àú»ç¾ç ³ë±¤Àåºñ/»çÁø=¹ÙÀ̵Π|
2ÀÏ °ü¿µ ȯ±¸½Ãº¸ ¿µÀÚÁö ±Û·Î¹úŸÀÓ½º´Â Áõ±ÇÀϺ¸ º¸µµ¸¦ Àοë, ÇöÁö ±â¾÷ SMEE°¡ 28³ª³ë ³ë±¤Àåºñ °³¹ß¿¡ Àü³äÇÑ ³¡¿¡ Áß±¹ ÃÖÃÊ·Î SSA/800-10W °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÏ°í ¿¬¸» Ãâ½Ã°¡ ¿¹»óµÈ´Ù°í ÀüÇß´Ù.
³ë±¤Àåºñ´Â ±ØÀڿܼ±(EUV) µîÀ» È°¿ëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¿øÀç·á ±âÆÇÀÎ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¹Ì¼¼ ȸ·Î¸¦ »õ±ä´Ù. ȸ·Î¸¦ »õ±â¸é ÈÇÐ ¾àÇ°À» »Ñ·Á ȸ·Î ÀÌ¿Ü ºÎºÐÀ» ³ì¿© ¹þ°Ü³½´Ù. ¹Ì¼¼ °øÁ¤ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ²À ÇÊ¿äÇÑ Àåºñ·Î ´ëüÇÒ ¸¸ÇÑ ±â¼úÀ̳ª ÀåÄ¡°¡ ÇöÀç·Î¼´Â ¾ø´Ù.
ÇØ´ç Àåºñ´Â ¼¼°è¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô ³×´ú¶õµå ASMLÀÌ »ý»êÇÑ´Ù. ³×´ú¶õµå´Â ¹Ì±¹ ¿äûÀ» ¹Þ¾Æµé¿© ¿À´Â 9¿ùºÎÅÍ ASMLÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ¼³ºñ¸¦ ¼öÃâÇÒ ¶§ Á¤ºÎ Çã°¡¸¦ ¹Þµµ·Ï Á¶Ä¡Çß´Ù.
ÀÌ Àåºñ°¡ ¾øÀ¸¸é ½º¸¶Æ®Æù ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ÇÁ·Î¼¼¼(AP) °°Àº ¹ÝµµÃ¼¸¦ °³¹ßÇϱ⠾î·Æ´Ù. SMEE°¡ ÆǸÅÇÏ´Â ³ë±¤Àåºñ´Â ±â²¯ÇØ¾ß 90³ª³ë±Þ¿¡ ±×Ä¡´Â ÇüÆíÀÌ´Ù.
¹ßµî¿¡ ºÒÀÌ ¶³¾îÁø Áß±¹Àº Àåºñ ±¹»êȸ¦ ¼µÑ·¶Áö¸¸, ÁøôÀº ´õµ±´Ù. SMEE°¡ 28³ª³ë±Þ ½ÉÀڿܼ±(DUV) ³ë±¤Àåºñ¸¦ Ãâ½ÃÇÒ °Å¶ó´Â °üÃøÀº 2020³âºÎÅÍ ³ª¿ÔÁö¸¸ ±¸Ã¼Àû ¼º°ú´Â ¾ø¾ú´Ù.
±Û·Î¹úŸÀÓ½º´Â "¼öÀÔ Ä¨ 1°³´ç ºñ¿ëÀÌ 20À§¾È(¾à 3600¿ø)ÀÌÁö¸¸ ÀÚü »ý»êÀ» Çϸé 200À§¾È¿¡ ´ÞÇÑ´Ù"¸ç "±×·¯³ª ½ÃÀå À§Çè(¼öÃâ Á¦ÇÑ)À» ÁÙÀ̱â À§ÇØ ÀÚü Ĩ »ç¿ëÀ» ¼±È£ÇÏ´Â Áß±¹ ±â¾÷µéÀ» ÀúÁöÇÏÁö ¸øÇÒ °Í"À̶ó°í º¸µµÇß´Ù.
SMEE °³¹ß ¼Ò½ÄÀÌ »ç½ÇÀÎÁö¸¦ È®ÀÎÇÏ´Â µ¥´Â ½Ã°£ÀÌ ÇÊ¿äÇØ º¸ÀδÙ. Áõ±ÇÀϺ¸ º¸µµ ÀÌÈÄ ¾î¶² ¾ð·Ð ¸ÅüÀÇ »ç½Ç È®ÀÎ ¿äû¿¡µµ ÀÀÇÏ°í ÀÖÁö ¾Ê¾Æ¼´Ù.
Áß±¹¿¡ ´ëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ °ø±Þ¸Á Á¶À̱â´Â °µµ ³ô°Ô ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù. ³×´ú¶õµå¿¡ ´õÇØ ÀϺ»ÀÌ Áö³´Þ 23ÀϺÎÅÍ ³ë±¤¡¤¼¼Á¤ Àåºñ µî 23°³ Ç°¸ñ ¼öÃâ ÅëÁ¦¿¡ ³ª¼¹´Ù. ¹Ì±¹, Çѱ¹, ´ë¸¸ µî ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ±¹°¡¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ 42°³±¹À» Á¦¿ÜÇÑ ³ª¶óµéÀÌ ´ë»óÀÌ´Ù. Áß±¹Àº 42°³±¹¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù.