한·미·일·중 반도체 전문가 한자리에..제9회 ICMAP 성료

머니투데이

이유미 기자

한국진공학회가 개최하는 '제9회 ICMAP'(마이크로 전자공학 및 플라즈마 기술 국제 학술대회)가 최근 제주 부영호텔에서 성료했다.

ICMAP는 한국을 비롯해 중국·일본·미국 등이 주축이 돼 △마이크로 전자공학 △플라즈마 △디바이스 분야를 중심으로 다양한 소자 및 공정·응용 기술을 다루는 교류의 장이다. 2008년 제주에서 첫 개최된 이래 격년 개최돼 올해 9회째를 맞았다. 나흘간 진행된 이번 학회는 △한국핵융합에너지연구원 △한국재료연구원 △도쿄일렉트론코리아 △피에스케이 △어플라이드 머티리얼즈 코리아 △램리서치 코리아 등 유수의 기업 및 기관이 후원 및 참여했다.

올해 학회에서는 한국이 주도 중인 반도체 소자 공정 최신 분야 트렌드를 다루고, 첨단 플라즈마에 대한 국제 토론 등이 진행됐다. △염근영 성균관대학교 교수 △윤석민 삼성전자 설비기술연구소 부사장 △김용진 SK하이닉스 상무 △김태성 성균관대학교 교수 △이고르 카가노비치 PPPL 박사 △송 위안홍 대련대학교 교수 등이 기조 연설을 맡았다.

특히 이번 학회에서는 2~3nm급 소자 구현의 핵심 기술인 '플라즈마 원자층 공정'에 대한 활발한 논의가 이뤄졌다. 또 Al(인공지능)와 가상 계측 모델을 융합한 새로운 공정 설계 기법 등 최근 반도체 산업현장에서 관심이 높은 첨단 핵심 기술 분야에 대한 논의가 집중됐다.

이번 ICMAP 학술대회 의장인 주정훈 군산대학교 교수는 "코로나 팬데믹으로 인해 잠시 주춤했던 국내외 연구자들의 교류가 제9회 ICMAP 학술대회를 통해 다시 활성화될 수 있었다"고 말했다. 이어 "반도체 강국으로서 국내 학술 분야 성과를 확인할 수 있었던 자리"라며 "ICMAP는 국내외를 아울러 플라즈마 및 마이크로일렉트로닉스 분야의 독보적 학회로 자리매김했다"고 덧붙였다.

한·미·일·중 반도체 전문가 한자리에..제9회 ICMAP 성료

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