Áö³ 5¿ù14ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ¹Ì±¹ »êŸŬ¶ó¶ó¿¡¼ ¿¸° '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³ 2019'¿¡¼ »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎ Á¤Àº½Â »çÀåÀÌ ±âÁ¶ ¿¬¼³À» ÇÏ°í ÀÖ´Ù. /»çÁø=»ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø |
»ï¼ºÀüÀÚ´Â À̳¯ ¼¿ï ±×·£µå ÀÎÅÍÄÁƼ³ÙÅ» Æĸ£³ª½º È£ÅÚ¿¡¼ '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³ 2019 ÄÚ¸®¾Æ'¸¦ °³ÃÖÇÏ°í ÀÌ °°ÀÌ ¹àÇû´Ù.
»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³Àº ±¹³»¿Ü ÆÕ¸®½º °í°´°ú ÆÄÆ®³ÊµéÀ» ÃÊûÇØ »ï¼º ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ ÃֽŠ±â¼ú ÇöȲ°ú ÀÀ¿ëóº° ¼Ö·ç¼ÇÀ» °øÀ¯ÇÏ°í Çù·Â°ü°è¸¦ °ÈÇÏ´Â Çà»ç·Î 2016³âºÎÅÍ ¸Å³â Àü¼¼°è¿¡¼ °³ÃÖÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿ÃÇØ´Â Áö³ 5¿ù Ķ¸®Æ÷´Ï¾Æ¸¦ ½ÃÀÛÀ¸·Î ¼¿ï, µµÄì(9¿ù4ÀÏ), ¹ÀÇî(10¿ù10ÀÏ) µî¿¡¼ °³ÃÖÇÑ´Ù.
À̳¯ Æ÷·³¿¡´Â Áö³Çغ¸´Ù ¾à 40% Áõ°¡ÇÑ 500¸í ÀÌ»óÀÇ ÆÕ¸®½º °í°´°ú ÆÄ¿îµå¸® ÆÄÆ®³Ê°¡ Âü¼®Çß´Ù. ¶Ç ÷´Ü ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú Æ®·»µå¸¦ °øÀ¯ÇÏ´Â Àü½Ã ºÎ½º ¿î¿µ¿¡µµ Âü¿© ±â¾÷ÀÌ 2¹è °¡·® Áõ°¡Çß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚÀÇ '¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030' ¼±Æ÷ ÀÌÈÄ ±¹³» ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ °ü½ÉÀÌ ³ô¾ÆÁø ¿µÇâÀ¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 4¿ù 133Á¶¿ø ÅõÀÚ¿Í 1¸¸5000¸í °í¿ë âÃâÀ» ÅëÇØ 2030³â±îÁö ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ±Û·Î¹ú 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇÏ°Ú´Ù´Â '¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030'À» ¼±Æ÷ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â À̹ø Æ÷·³¿¡¼ ÀΰøÁö´É(AI), 5G(5¼¼´ë À̵¿Åë½Å), ÀüÀå, IoT(»ç¹°ÀÎÅͳÝ) µî 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸í ½Ã´ë¸¦ ÁÖµµÇÒ ÃֽŠ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤ ±â¼úºÎÅÍ ÀúÀü·Â FD-SOI(¿ÏÀü°øÇÌÇü ½Ç¸®ÄÜ ¿Â Àν¶·¹ÀÌÅÍ), 8ÀÎÄ¡ ¼Ö·ç¼Ç±îÁö Æø³ÐÀº ÆÄ¿îµå¸® Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ¼Ò°³Çß´Ù.
Á¤Àº½Â »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎ »çÀåÀº ±âÁ¶¿¬¼³¿¡¼ "»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹ÝµµÃ¼ ºÒ¸ðÁö¿¡¼ »ç¾÷À» ½ÃÀÛÇØ ¿ª°æÀ» µó°í ¾÷°è 1À§¿¡ ¿À¸¥ °æÇèÀÌ ÀÖ´Ù"¸ç "ÆÄ¿îµå¸® ºÐ¾ßÀÇ ÃÖ°í¸¦ ÇâÇÑ ¿©Á¤µµ ½±Áö ¾Ê°ÚÁö¸¸ ³°üÀ» ÇìÄ¡°í ÇÔ²² ¼ºÀåÇØ ³ª°¥ ¼ö ÀÖ°Ô °ü½É°ú ÀÀ¿øÀ» ºÎŹµå¸°´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
¶Ç "±¹³» ÆÕ¸®½º ±â¾÷µéÀÌ ½Å½ÃÀåÀ» ºñ·ÔÇÑ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ È°¾àÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µðÀÚÀÎ ¼ºñ½º, Á¦Á¶, ÆÐÅ°Áö µî °³¹ßºÎÅÍ ¾ç»ê±îÁö Çù·Â »ýÅ°踦 È°¼ºÈÇØ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÏ°Ú´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ±¹³» Áß¼Ò ÆÕ¸®½º ±â¾÷µéÀÇ ¼ö¿ä°¡ ³ôÀº 8ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤°ú ¿À·£ ±â°£ °í°´µé·ÎºÎÅÍ °ËÁõÀÌ ¿Ï·áµÈ 12ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤ µî ¾÷°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ÅëÇØ °í°´ÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¿ä±¸¸¦ ¸¸Á·½ÃÅ°°íÀÚ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù.
±¹³» ÆÕ¸®½º ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üÀÎ ÅÚ·¹Ä¨½ºÀÇ ÀÌâ±Ô ´ëÇ¥´Â "¿ÃÇØ ½º¹«»ìÀÌ µÈ ÅÚ·¹Ä¨½º´Â »ï¼ºÀÇ ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú ¹ßÀü°ú ÇÔ²² ¼ºÀåÇØ ¿Ô´Ù°í Çصµ °ú¾ðÀÌ ¾Æ´Ï´Ù"¶ó¸ç "¶Ù¾î³ Á¦Ç°À¸·Î ½ÃÀå °æÀï·ÂÀ» ´õ¿í ³ô¿© °¡±â À§ÇØ ÇöÀç Çù·Â ÁßÀÎ 14³ª³ë¿¡ À̾î 10³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏ ¹Ì¼¼ °øÁ¤¿¡¼µµ źźÇÑ Çù·ÂÀ» ÀÌ¾î ³ª°¥ °èȹ"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ±¹³» ÆÕ¸®½º ±â¾÷¿¡°Ô 7³ª³ë ÀÌÇÏ EUV ±â¹Ý Ãʹ̼¼ °øÁ¤µµ Àû±Ø Á¦°øÇØ Â÷¼¼´ë ÷´Ü Á¦Ç° °³¹ßÀ» Áö¿øÇÔÀ¸·Î½á ±¹³» ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ °æÀï·Â È®º¸¿¡µµ ±â¿©ÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.
¾Æ¿ï·¯ ÆÕ¸®½º °í°´µéÀÌ »ï¼ºÀÇ ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ ±â¼ú°ú ¼ºñ½º¸¦ º¸´Ù ½±°Ô È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¹ÝµµÃ¼ µðÀÚÀÎÇϿ콺¸¦ ºñ·ÔÇØ ¼³°èÀÚ»ê(IP), ÀÚµ¿È ¼³°è Åø(EDA), Á¶¸³Å×½ºÆ®(OSAT)±îÁö ±¹³» ÆÄ¿îµå¸® ÆÄÆ®³Êµé°ú Çù·ÂÀ» È®´ëÇØ ³ª°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÇÑÆí »ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 4¿ù ÀúÀü·Â 28³ª³ë FD-SOI °øÁ¤ ±â¹ÝÀÇ ³»ÀåÇü M·¥(eMRAM) ¼Ö·ç¼Ç Á¦Ç°°ú 7³ª³ë ÇÉÆê Á¦Ç°À» ÃâÇÏÇÏ°íÂ÷¼¼´ë 5³ª³ë °øÁ¤ °³¹ßÀ» °ø°³ÇÏ´Â µî ÆÄ¿îµå¸® ±â¼úÀ» ¼±µµÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ Àü·ù°¡ È帣´Â Åë·ÎÀÎ ¿øÅëÇü ä³Î(Channel) Àüü¸¦ °ÔÀÌÆ®(Gate)°¡ µÑ·¯½Î Àü·ùÀÇ È帧À» ´õ ¼¼¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë Æ®·£Áö½ºÅÍ ±¸Á¶ÀÇ 3³ª³ë GAE(3³ª³ë Gate-All-Around Early) °øÁ¤ ¼³°è Å°Æ®(PDK v0.1, Process Design Kit)¸¦ ÆÕ¸®½º °í°´¿¡°Ô ¹èÆ÷Çϱ⵵ Çß´Ù.