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KISTI°¡ ¼±Á¤ÇÑ Àü·«¾ÆÀÌÅÛÀº ¡â°í¼øµµºÒȼö¼Ò ¡â¼ö»êÈ´ÏÄÌ ¡âÆòÆǵð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ºí·©Å© ¸¶½ºÅ© ¡â¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¡â½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ¡â¼ö¼Ò¿¬·á ÀúÀå¿ë ź¼Ò¼¶À¯ ¡â¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ¿¡Æø½Ã ¼öÁö ¡â¼®¿µµµ°¡´Ï ¡â¿þÀÌÆÛ °¡°ø¿ë CMP Àåºñ ¡âÆ÷Åä·¹Áö½ºÆ® µµÆ÷±â¡¤Çö»ó±âÀÌ´Ù.
KISTI¿¡ µû¸£¸é ´ëÀÏ ¼öÀÔ ºñÁßÀÌ 30% ÀÌ»óÀÌ°í ¼öÀÔ¾×ÀÌ 1000¸¸ ´Þ·¯(¾à 117¾ï¿ø) ÀÌ»óÀÎ Ç°¸ñ 767°³¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâÀÔÁ¤º¸, ´ëÀÏ ¼öÀÔºñÁß, ¹«¿ª¼öÁö µî ±¤¹üÀ§ÇÑ ºòµ¥ÀÌÅ͸¦ ÷´Ü °è·®Á¤º¸ ºÐ¼®±â¼ú·Î ºÐ¼®Çß´Ù. ÀÌ¾î ³»¿ÜºÎ µµ¸ÞÀÎ Àü¹®°¡ 20¿© ¸íÀÌ Á¤¼ºÀûÀÎ ½ºÅ©¸®´×À» ¼öÇà, ÃÖÁ¾ 10°³ Àü·«¾ÆÀÌÅÛÀ» µµÃâÇß´Ù. ÃÖÈñÀ± KISTI ¿øÀåÀº ¡°ÀϺ»ÀÇ Àü·«¹°ÀÚ ¼öÃâÁ¦ÇÑ Á¶Ä¡¿Í Çѱ¹ÀÇ ÈÀÌÆ®¸®½ºÆ®(¼öÃâ½É»ç ¿ì´ë±¹) ¹èÁ¦ µî¿¡ Çö¸íÇÏ°Ô ´ëÀÀÄÚÀú ÀÌ °°Àº ºÐ¼®À» ½Ç½ÃÇß´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
À§±â´ëÀÀ Àü·«¾ÆÀÌÅÛ 10¼±À» ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î º¸¸é ¸ÕÀú ¡®°í¼øµµºÒȼö¼Ò¡¯´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿¡Äª¡¤¼¼Á¤ °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â Àç·á´Ù. ±×µ¿¾È ±¹³» ±â¾÷µéÀº Àú¼øµµºÒȼö¼Ò°¡ »ç¿ë °¡´ÉÇÑ °øÁ¤¿¡´Â Áß±¹»ê¡¤Çѱ¹»ê ¾×ü ºÒȼö¼Ò¸¦ ¾²°í, ¹Î°¨ÇÑ °øÁ¤¿¡´Â ÀϺ»»ê ÃÊ°í¼øµµ ±âü ºÒȼö¼Ò¸¦ »ç¿ëÇØ ¿Ô´Ù. ´ëÀÏ ¼öÀÔÀÇÁ¸µµ´Â 41.9%(2018³â ±âÁØ, ÀÌÇÏ µ¿ÀÏ)´Ù. °í¼øµµºÒȼö¼Ò´Â Àç°í º¸À¯±â°£ÀÌ Âª¾Æ Àû½Ã °ø±ÞÀÌ ÇʼöÀÎ ¸¸Å ¼öÃâ±ÔÁ¦½Ã Ÿ°ÝÀÌ Å©´Ù.
¡®¼ö»êÈ´ÏÄÌ¡¯Àº ÇÏÀ̺긮µåÂ÷, Àü±âÂ÷¿ë ÀÌÂ÷ÀüÁö ¾ç±ØÈ°¼º¹°Áú ¹× ÷°¡Á¦·Î »ç¿ëµÇ´Â ¿ø·á´Ù. ´ëÀÏ ¼öÀÔ ÀÇÁ¸µµ´Â 98%¿¡ À̸¥´Ù. Àü±âÂ÷ ½ÃÀåÀÇ ±Þ¼ºÀå¿¡ µû¶ó Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¼ö¿ä°¡ È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ³ª ±¹³» »ý»êÀÌ °ÅÀÇ ¾ø¾î ÀϺ»ÀÌ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¿¡ ³ª¼³ °æ¿ì ¿µÇâÀÌ Å¬ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
¡®ÆòÆǵð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ºí·©Å© ¸¶½ºÅ©¡¯´Â ÁÖ·Î ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëÇÑ´Ù. EUV °øÁ¤Àº Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¸¦ À§ÇØ °¡Àå ÁÖ¸ñ¹Þ´Â °øÁ¤ Áß ÇϳªÀÌ´Ù´Ù. ÇöÀç ºí·©Å© ¸¶½ºÅ©´Â ÀϺ»ÀÇ È£¾ß(HOYA)°¡ µ¶Á¡ °ø±ÞÁßÀÌ´Ù. ´ëÀÏ ¼öÀÔÀÇÁ¸µµ´Â 83.5%ÀÌ´Ù.
¡®¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¡¯ ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤ ÀÌÀü¿¡ ¿þÀÌÆÛ¿¡ µµÆ÷µÇ´Â ¼ÒÀç·Î ºûÀ» ÀνÄÇϱâ À§ÇÑ °¨±¤Àç·áÀÌ´Ù. ´ëÀÏ ¼öÀÔ ÀÇÁ¸µµ´Â 93.2%. KISTI °ü°èÀÚ´Â ¡°¾ÆÁ÷±îÁö ±¹³» ¼Ò¸ð·®ÀÌ Àû¾î Å« ¿µÇâÀº ¾øÁö¸¸ ±â¼úÀ庮ÀÌ ³ô±â ¶§¹®¿¡ ÇâÈÄ ¼öÃâ±ÔÁ¦°¡ ½ÃÀ۵Ǹé Ÿ°ÝÀÌ Å¬ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
¡®½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¡¯´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ Á¦Á¶¿ë(60%)À̳ª žçÀüÁö Àç·á(40%)·Î ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ´ëÀÏ ¼öÀÔ ÀÇÁ¸µµ´Â 52.8%. °ü°èÀÚ´Â ¡°´Ù¾çÇÑ °ø±Þó°¡ ÀÖÁö¸¸ 700¿©°³ ¼¼ºÎ °øÁ¤¸¶´Ù ¿þÀÌÆÛ°¡ ƯȵŠÀÖ¾î À̸¦ º¯°æÇϸé ÃÖÀûÈ¿¡ 2~6°³¿ùÀÌ ¼Ò¿äµÈ´Ù´Â °ÍÀÌ °¡Àå Å« ¹®Á¦¡±¶ó°í ÁöÀûÇß´Ù.
¡®¼ö¼Ò¿¬·á ÀúÀå¿ë ź¼Ò¼¶À¯¡¯ÀÇ °æ¿ì, ¾ÆÁ÷±îÁö´Â ¼ö¼Ò¿¬·á¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä°¡ ¸¹Áö ¾Ê¾Æ Å« ¿µÇâÀÌ ¾øÀ¸³ª ¼ö¼ÒÂ÷ µî ¼ö¼Ò°æÁ¦ÀÇ ¼ºÀå °¡´É¼ºÀÌ ¸Å¿ì Å©¹Ç·Î ÁýÁßÀûÀ¸·Î °³¹ßÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù´Â °Ô KISTIÀÇ ¼³¸íÀÌ´Ù. ´ëÀÏ ¼öÀÔÀÇÁ¸µµ´Â 39.1%.
¡®¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ¿¡Æø½Ã ¼öÁö¡¯ÀÇ ´ëÀÏ ¼öÀÔ ÀÇÁ¸µµ´Â 87.4%ÀÌ´Ù. ÁÖ¿ä ¼öÃâ±â¾÷ÀÎ ´ÏÆù Ä«¾ßÄí¿Í ¹ÌÃ÷ºñ½ÃÄɹÌÄ®Àº ±â¼ú°ÝÂ÷¸¦ ¹«±â·Î ³»¼ö°¡°Ý ´ëºñ 2¹è °¡±îÀÌ ³ô°Ô ¼öÃâ°¡°ÝÀ» Ã¥Á¤ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¡®¼®¿µ µµ°¡´Ï¡¯ ÁÖ·Î ¹ÝµµÃ¼ ¹× ±¤ÀüÁö »ê¾÷¿ë ´Ü°áÁ¤ ½Ç¸®ÄÜÀ» »ý»êÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµÈ´Ù. ´ëÀÏ ¼öÀÔÀÇÁ¸µµ´Â 99.2%À̸ç, ±¹³»¿¡´Â »ý»ê±â¾÷ÀÌ ¾ø´Ù.
¡®¿þÀÌÆÛ °¡°ø¿ë CMP Àåºñ¡¯´Â ¹ÝµµÃ¼ Ç¥¸éÀ» ÈÇÐÀû¡¤±â°èÀû ¹æ¹ýÀ¸·Î ÆòÅºÈ ÇÏ´Â °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÀåºñÀÌ´Ù. ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ Á¦Á¶, »êȸ· CMP °øÁ¤, ±Ý¼Ó¸· CMP °øÁ¤ µî¿¡ ÀÀ¿ëµÇ¸ç Á¡Â÷ Áß¿äµµ°¡ ³ô¾ÆÁö°í ÀÖÁö¸¸ ¼±Áø±¹°ú ±â¼ú°ÝÂ÷°¡ Ä¿ ´ëºÎºÐÀ» ¼öÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù. ´ëÀÏ ¼öÀÔÀÇÁ¸µµ´Â 88.9%.
¡®Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® µµÆ÷±â¡¤Çö»ó±â¡¯´Â ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é¿¡ °¨±¤¾×À» ±ÕÀÏÇÏ°Ô µµÆ÷ÇÑ ÈÄ, ºü¸£°Ô ȸÀüÇØ ±ÕÀÏÇÑ µÎ²²ÀÇ ¾ãÀº Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤¾×¤ýPR)¸·À» Çü¼ºÇÏ´Â ±â°èÀÌ´Ù. ÀϺ» ÅÚ(TEL)»ç°¡ ¹ÝµµÃ¼¿ë µµÆ÷¡¤Çö»ó±â ¼¼°è ½ÃÀåÀÇ 87%¸¦ µ¶Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±¹³» ±â¾÷ÀÇ ´ëÀÏ ¼öÀÔÀÇÁ¸µµ´Â 98.7%¿¡ À̸¥´Ù.