![]() |
¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹®¿¡¼´Â ÇâÈÄ ¼ö¿ä Áõ°¡ ´ëÀÀÀ» À§ÇÑ Ã·´Ü°øÁ¤ Àüȯ°ú Áõ¼³·Î ÅõÀÚ°¡ ´Ã¾ú´Ù. ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) ºÎ¹®¿¡¼µµ EUV(±ØÀڿܼ±) 5³ª³ë °øÁ¤ µî Áõ¼³·Î ÅõÀÚ ±Ô¸ð°¡ Àü³âº¸´Ù Å©°Ô Áõ°¡Çß´Ù.
µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÎ¹®¿¡¼´Â QD(ÄöÅÒ´å) µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ý»ê´É·Â È®´ë¿Í Áß¼ÒÇü ½Å±â¼ú °øÁ¤ Áß½ÉÀ¸·Î ÅõÀÚ°¡ Áõ°¡Çß´Ù.