¹Ú±Ý¼º ¿µ¿ìµð¿¡½º ´ëÇ¥(¿ÞÂÊ Ã¹¹ø°)°¡ Àڿܼ± ±¤ÇмÒÀç, ºÎÇ°, Àåºñ °ü·Ã »ê, ¿¬ ¾÷¹«Çù¾à½Ä ÀÌÈÄ ±â³äÃÔ¿µÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Ù. |
¿µ¿ìµð¿¡½ºÇÇ´Â Á¤ºÎ°¡ ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå ±¹»êÈÀÇ '10³ª³ë ÀÌÇÏ ¹ÝµµÃ¼ °áÇÔ °Ë»çÀåºñ¿ë Àڿܼ± ·»Áî¸ðµâ ½ÇÀå ¼º´ÉÆò°¡ ±â¼ú°³¹ß' ¼¼ºÎÁÖ°ü±â°üÀ¸·Î ¼±Á¤µÆ´Ù°í 28ÀÏ ¹àÇû´Ù.
»ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ°¡ ÁÖ°üÇÏ´Â À̹ø °úÁ¦´Â '¹ÝµµÃ¼ °áÇÔ °Ë»çÀåºñ¿ë CaF2 ±¤ÇмÒÀç ¹× ±¤Çиðµâ ±â¼ú°³¹ß'ÀÇ 3¼¼ºÎ °úÁ¦´Ù. Çѱ¹»ê¾÷±â¼úÆò°¡°ü¸®¿øÀÌ Àü´ã±â°ü, Çѱ¹±¤±â¼ú¿øÀÌ ÃÑ°ýÁÖ°ü ±â°üÀ¸·Î Âü¿©ÇÑ´Ù. 1¼¼ºÎ, 2¼¼ºÎ¿¡¼´Â °¢°¢ 'CaF2 ´Ü°áÁ¤ Á¦Á¶Àåºñ ¹× 200mm±Þ °í±ÕÁú À×°÷'°ú '°íºÐÇØ´É Àڿܼ± ·»Áî¼³°è, ±¤Çз»Áî, ±¤ÇиðµâÈ »ó¿ëÈ' ±â¼ú°³¹ßÀ» ÁøÇàÇÑ´Ù. »ç¾÷±â°£Àº ¿À´Â 2024³â±îÁöÀ̸ç, ÃÑ Á¤ºÎÁö¿ø±ÝÀº 194¾ï5000¸¸¿øÀÌ´Ù.
¿µ¿ìµð¿¡½ºÇÇ°¡ ´ã´çÇÒ 3¼¼ºÎ °úÁ¦ÀÇ ÃÖÁ¾ÀûÀÎ ¸ñÇ¥´Â ¹ÝµµÃ¼ DUV ´ë¹°·»Áî ½ÇÀå ¹× ¼º´ÉÆò°¡¿ë IQC(¼öÀÔ°Ë»ç)¿Í °Ë»ç±â ½Ã½ºÅÛÀ» °³¹ßÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. ¿µ¿ìµð¿¡½ºÇÇ°¡ ÁÖ°ü±â°üÀ¸·Î¼ ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÏ°í ´ëÀϽýºÅÛ, ±Ý¿À°ø´ë, ±¹¹Î´ë, ¾Ö¸®Á¶³ª´ë°¡ °øµ¿¿¬±¸°³¹ß±â°ü ÀÚ°ÝÀ¸·Î Âü¿©ÇÑ´Ù.
¿µ¿ìµð¿¡½ºÇÇ´Â 2022³â±îÁö DUV ´ë¹°·»Áî Æò°¡¸¦ À§ÇÑ IQC ½Ã½ºÅÛÀ» °³¹ßÇÒ °èȹÀÌ´Ù. 2¼¼ºÎ °úÁ¦¿¡¼ DUV ´ë¹°·»Áî°¡ °³¹ßµÇ¸é, À̸¦ ½ÇÀå ¼º´ÉÆò°¡¸¦ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Ë»ç±â ½Ã½ºÅÛ ¿ª½Ã °³¹ßÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ´õºÒ¾î ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ 10³ª³ë±Þ °áÇÔÀ» ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Ë»ç±â¼ú °³¹ß ¿ª½Ã ÃßÁøÇÏ°Ô µÈ´Ù.
ȸ»ç´Â À̹ø °úÁ¦¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î º»°ÝÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ °Ë»çÀåºñ »ç¾÷ȵµ ÁøÇàÇÒ ¹æħÀÌ´Ù. ±¹³»¿Ü ±¤ºÎÇ° Á¦Á¶ ¾÷ü¸¦ ´ë»óÀ¸·Î ¼öÀÔ°Ë»ç¿ë IQC ½Ã½ºÅÛÀÇ »ç¾÷È¿¡µµ ³ª¼³ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ °áÇԺм®¿ë °Ë»çÀåºñÀÇ °³¹ßÀ» ÅëÇØ ¼ÒÀçºÎÇ°À» ±¹»êÈÇÏ°í, ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü¿ÍÀÇ ±³·ùµµ ´õ¿í ´Ã·Á³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.
Çѱ¹»ê¾÷±â¼úÆò°¡°ü¸®¿øÀÇ ÀÚ·á¿¡ µû¸£¸é ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ÃøÁ¤ ¹× ºÐ¼®±â¼úÀÇ ±¹»êÈÀ²Àº ¾à 35%¿¡ ºÒ°úÇÏ°í, ¼ÒÀçºÎÇ° ±¹»êÈ ¼öÁØ ¿ª½Ã 30%ÀÎ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù. ƯÈ÷ ¿µ¿ìµð¿¡½ºÇÇ°¡ °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Â '10³ª³ë±Þ °Ë»çÀåºñ'ÀÇ °æ¿ì, Àü·® KLA µî°ú °°Àº ÇØ¿Ü Àåºñ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ°í ÀÖ¾î Àåºñ ¹× ¼ÒÀçºÎÇ° ±¹»êÈ¿¡ ´ëÇÑ Çʿ伺ÀÌ Àý½ÇÇÏ´Ù°í ȸ»ç ÃøÀº ÀüÇß´Ù.
¹Ú±Ý¼º ´ëÇ¥´Â "±×µ¿¾È µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¹× ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ¸é¼ ÃàÀûÇÑ ÃÊÁ¤¹Ð ±¤ÇÐ ¼³°è ¹× °èÃø, °Ë»ç ¾Ë°í¸®Áò ¹× AI(ÀΰøÁö´É) ±â¼ú µîÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ Ãʹ̼¼ °áÇÔ °Ë»çÀåºñ °³¹ß ¹× °ü·Ã ¼ÒÀçºÎÇ° ±¹»êÈ¿¡ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù"¸ç "ƯÈ÷ ±¤ºÎÇ° IQC ½Ã½ºÅÛ°ú ¿þÀÌÆÛ °áÇÔ ºÐ¼® Àåºñ¸¦ »ç¾÷ÈÇϸé ÁßÀå±âÀûÀ¸·Î ´ë±Ô¸ðÀÇ ½Å±Ô ¸ÅÃâÀÌ ¹ß»ýÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ¸ç, ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµé°úµµ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Çù·ÂÀ» À̾ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÇÑÆí ¿µ¿ìµð¿¡½ºÇÇ´Â '¿þÀÌÆÛ Èĸ鿬¸¶ °Ë»ç', '¼ö³ª³ë±Þ ±¤ÇÐ °èÃø½Ã½ºÅÛ'µµ °³¹ß ¿Ï·á ´Ü°è·Î, ¼ö¿ä±â¾÷°ú ±ä¹ÐÈ÷ Æò°¡ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. ȸ»ç´Â ÃÊÁ¤¹Ð ·¹ÀÌÀú °Ë»ç ±¤Çиðµâ °³¹ßÀ» À§ÇØ Çѱ¹±âÃÊ°úÇÐÁö¿ø¿¬±¸¿ø, Çѱ¹Ç¥ÁØ°úÇבּ¸¿ø°ú °ü·Ã ±â¼ú ÀÌÀüÀ» À§ÇÑ ¾çÇØ°¢¼(MOU)¸¦ ü°áÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.