10ÀÏ °ü·Ã¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â ÁõÂøÀåºñ¸¦ ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ´ë±â¾÷µé·ÎºÎÅÍ ÀÕ´Þ¾Æ ¼öÁÖÇß´Ù.
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº ÀÌ´Þ À¯·´ NXP¹ÝµµÃ¼(¿¾ Çʸ³½º ¹ÝµµÃ¼»ç¾÷ºÎ)¿¡ 30¾ï¿ø »ó´ç¿¡ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ °øÁ¤¿ë ±Ý¼ÓÀ¯±âÁõÂøÀåºñ(MO CVD)¸¦ °ø±ÞÅ°·Î °è¾àÇß´Ù. Áö³´Þ ¸»¿¡´Â SKÇÏÀ̴нº·ÎºÎÅÍ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â °ø°£ºÐÇÒÈÇÐÁõÂøÀåºñ(SDP CVD)¸¦ 34¾ï¿ø¿¡ ¼öÁÖÇß´Ù.
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ °ü°èÀÚ´Â "¿ÃÇØ µé¾î ´Ù¸¥ Àåºñ Á¦Ç°±º¿¡ ºñÇØ ºÎ°¡°¡Ä¡°¡ ³ôÀº ¹ÝµµÃ¼Àåºñ ¼öÁÖ·® Áõ°¡·Î ¼öÀͼºÀÌ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î °³¼±µÇ°í ÀÖ´Ù"¸ç "¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼¿¡ ÀÌ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºÐ¾ßµµ °ÈÇÏ¸é¼ ½ÇÀû »ó½Â¼¼¸¦ À̾ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº ¿ÃÇØ 3ºÐ±â ´©Àû¸ÅÃâ¾×ÀÌ Àü³â µ¿±â(954¾ï¿ø)º¸´Ù 7.0% ´Ã¾î³ 1021¾ï¿øÀ̾úÀ¸¸ç, ´©Àû¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 44¾ï¿øÀ¸·Î Àü³â µ¿±â 67¾ï¿øÀÇ ÀûÀÚ¿¡¼ ÈæÀÚ·Î ÀüȯÇß´Ù. ÀÌ È¸»çÀÇ 3ºÐ±â ´©Àû½ÇÀû °¡¿îµ¥ ¹ÝµµÃ¼Àåºñ°¡ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀº 58%¿´´Ù.
Å×Å©À®Àº ÇØ¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ¾÷ü A»ç¿¡ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Çڵ鷯¸¦ ÃÖ±Ù °ø±ÞÇϱ⠽ÃÀÛÇß´Ù. Çڵ鷯´Â ¸ðµç ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤À» ¸¶Ä¡°í ÃÖÁ¾ ´Ü°è¿¡¼ °Ë»çÇÑ Á¦Ç°À» ¾çÇ°°ú ºÒ·®Ç°À¸·Î ºÐ·ùÇÏ´Â ±â´ÉÀ» ÇÑ´Ù.
Å×Å©À®Àº 2011³â ÀÌÈÄ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ Çڵ鷯 ºÐ¾ß¿¡¼ Àü ¼¼°è ½ÃÀåÁ¡À¯À² 1À§ ÀÚ¸®¸¦ À̾°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Çڵ鷯¸¦ ½Å¼öÁ¾»ç¾÷À¸·Î Á¤ÇÏ°í ÅõÀÚ¸¦ ÁýÁßÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ È¸»ç °ü°èÀÚ´Â "¿ÃÇØ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Çڵ鷯¿¡¼ 40¾ï¿ø °¡·® ¸ÅÃâÀ» ¿Ã¸®¸ç ÀÌ ºÐ¾ß¿¡ ÁøÃâÇÑ ¿ø³âÀ̶ó¸é, ³»³â¿¡´Â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Àåºñ ¸ÅÃâ¾×ÀÌ Àüü 20% ¾ÈÆÆÀ» Â÷ÁöÇÏ°Ô µÉ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
¿øÀÍIPS ¿ª½Ã ¼¼°è 2À§ ¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê(ÆÄ¿îµå¸®) ¾÷üÀÎ ¹Ì±¹ ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®½º¿¡ ÃÖ±Ù 164¾ï¿ø »ó´çÀÇ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇÏ¸ç ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡ º»°Ý ÁøÀÔÇß´Ù. ´ç½Ã °ø±ÞÇÑ Àåºñ´Â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Àç·á¸¦ ¿øÆÇ(¿þÀÌÆÛ) À§¿¡ ¾ã°Ô ÀÔÈ÷´Â ÇöóÁ ÈÇÐÁõÂøÀåºñ(PE CVD)¿´´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Àåºñ±â¾÷µé »çÀÌ¿¡¼ ÇâÈÄ¿¡µµ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ÀåºñºÐ¾ß¿¡ ÁøÃâÇϰųª °ü·Ã »ç¾÷À» °ÈÇÏ´Â »ç·Ê°¡ ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. µµÇö¿ì ¹Ì·¡¿¡¼ÂÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "±¹³»¿Ü¿¡¼ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¼³ºñÅõÀÚ¸¦ °ÈÇÏ´Â ¿òÁ÷ÀÓ¿¡ µû¶ó Àåºñ±â¾÷µéÀÌ °ü·Ã ºÐ¾ß¿¡ ÁøÀÔÇÏ´Â »ç·Ê°¡ ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÇÑÆí ½ÃÀåÁ¶»ç±â°ü ¾ÆÀ̼ÇöóÀÌ¿¡ µû¸£¸é Àü ¼¼°è ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â 2013³â ±âÁØÀ¸·Î ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼(687¾ï´Þ·¯)º¸´Ù 3¹è Á¤µµ Å« 1958¾ï´Þ·¯¿¡ ´ÞÇß´Ù.
Å×Å©À®ÀÌ »ý»êÇÏ´Â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Àü¿ë Çڵ鷯 / Ãâó=Å×Å©À® ȨÆäÀÌÁö |