¼¿ï °³²±¸ »ï¼ºÀüÀÚ ¼ÃÊ»ç¿Á µô¶óÀÌÆ®·ë¿¡ Àü½ÃµÈ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛÀÇ ¸ð½À. 2019.8.7/´º½º1 © News1 ÀÌ½Â¹è ±âÀÚ |
Åë½ÅÀº 19ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) Çѱ¹ °íÀ§ Á¤ºÎ °ü¸®¸¦ Àοë, ÀϺ»Àº ÃÖ±Ù °¡½º ÇüÅÂ(±âü)ÀÇ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò(hydrogen fluoride) ¼öÃâÀ» ½ÂÀÎÇßÁö¸¸ ¾×ü ºÒȼö¼Ò´Â Çã°¡ÇÏÁö ¾Ê°í ÀÖ´Ù°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌ °ü¸®´Â ÇØ´ç Á¤º¸°¡ ¾ÆÁ÷ °ø½ÄÀûÀ¸·Î °ø°³µÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù´Â ÀÌÀ¯·Î À͸íÀ» ¿ä±¸ÇÏ¸é¼ "(ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¼öÃ⠽ɻç) 90ÀÏ °ËÅä°¡ ³¡³ªÁö ¾Ê¾Ò±â ¶§¹®¿¡ ¼±ÀûÀ» Çã°¡ÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
ÀϺ»Àº Áö³ 7¿ù ÀÚ±¹ ±â¾÷ÀÌ ¹ÝµµÃ¼·µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶¿¡ µé¾î°¡´Â 3°³ ÇٽɼÒÀç(Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å¿Í Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò)¸¦ Çѱ¹¿¡ ¼öÃâÇÒ ¶§ ±âÁ¸ÀÇ 3³âÂ¥¸® Æ÷°ýÇã°¡°¡ ¾Æ´Ñ °³º°Çã°¡¸¸ ³»ÁÖ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ °ÈÇß´Ù.
ÀÌÈÄ ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» µÎ Â÷·Ê Çã¿ëÇß°í ¼öÃâ±ÔÁ¦ 57Àϸ¸ÀÎ Áö³´Þ ¸» ºÒȼö¼Ò ¼öÃâÀ» óÀ½ Çã°¡Çß´Ù.
ºí·ë¹ö±×´Â ¾×È ºÒȼö¼Ò ¼öÃâ Áö¿¬Àº ÀϺ»ÀÇ °ø±Þ¿¡ ÀÇÁ¸Çß´ø »ï¼ºÀüÀÚ³ª SKÇÏÀ̴нº¿Í °°Àº Çѱ¹ ±â¾÷¿¡ ¸Ó¸® ¾ÆÇ ÀÏÀ̶ó°í Æò°¡Çß´Ù.
À̾î Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü´Â ´Ü±âÀûÀ¸·Î ÃæºÐÇÑ Àç°í¸¦ °¡Áö°í ÀÖ´Ù°í ¸»Çϴµ¥, Àå±âÀûÀ¸·Î´Â ÀϺ»°ú Á¤»óÀûÀÎ °Å·¡¸¦ Àç°³Çϰųª À̸¦ ´ëüÇÒ ¹°ÁúÀ» ±¹³»¿¡¼ °³¹ßÇØ¾ß ÇÑ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 3ÀÏ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´ø ÀϺ»»ê ºÒȼö¼Ò ÀϺθ¦ ±¹»êÇ°À¸·Î ´ëüÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. LGµð½ºÇ÷¹ÀÌ´Â »ý»ê °øÁ¤¿¡ ÅõÀԵǴ ºÒȼö¼Ò¸¦ ÀÌ´Þ ¾È¿¡ ±¹»êÈÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ´º½º1ÄÚ¸®¾Æ, ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>