(»çÁø ¿ÞÂʺÎÅÍ)´Ò ¸®ÄÉÃ÷ ¹öÀÚ¸®¾ð PLC ´ëÇ¥¿Í ±Ç¿ë´ö ±×·¡ÇÉ·¦ ´ëÇ¥°¡ ±â³ä»çÁøÀ» Âï°í ÀÖ´Ù/»çÁøÁ¦°ø=±×·¡ÇÉ·¦ |
±×·¡ÇÉ·¦¿¡ µû¸£¸é ¹öÀÚ¸®¾ð PLC´Â ¿µ±¹ÀÇ Ç÷¹ÀÌÅ© ±×·¡ÇÉ ½ÃÀåÀ» ¼±µµÇÏ´Â ¾÷ü´Ù. ¾÷ü °ü°èÀÚ´Â "±×·¡ÇÉ·¦Àº Áö³ 6¿ù29ÀϺÎÅÍ ¾à 1ÁÖÀÏ µ¿¾È ¿µ±¹ ÿƮ³Ñ¿¡ ÀÖ´Â ¹öÀÚ¸®¾ð PLC º»»ç¸¦ ¹æ¹®Çß´Ù"¸ç "»õ·Î¿î ¹æÇâÀÇ ¾÷¹« Çù¾à°ú °ü·ÃÇØ ³íÀÇÇß´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
±×·¡ÇÉ·¦Àº ¹öÀÚ¸®¾ð PLC°¡ º¸À¯ÇÑ ´Ù¾çÇÑ Á¾·ùÀÇ Ç÷¹ÀÌÅ© ±×·¡ÇÉÀ» °ø±Þ¹Þ¾Æ ¿©·¯ ºÐ¾ß¿¡ Àû¿ëÇϱâ À§ÇÑ ¿¬±¸¡¤°³¹ßÀ» ÃßÁøÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ±×·¡ÇÉ·¦ °ü°èÀÚ´Â "±×·¡ÇÉ ÄÜÅ©¸®Æ®´Â °ÇÃà ÀÚÀç ºÐ¾ß¿¡, Ä«º»ÆÄÀ̹ö´Â ¹æ»ê ºÐ¾ß¿¡ È°¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù"¸ç "ƯÈ÷ ±×·¡ÇÉÀ» È°¿ëÇÑ ÄÜÅ©¸®Æ®´Â ÀÏ¹Ý ÄÜÅ©¸®Æ® ´ëºñ °µµ°¡ ³ô°í, °ÇÁ¶ ½Ã°£ÀÌ Âª¾Æ Àü¹ÝÀûÀÎ ¿ø°¡ Àý°¨ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù"°í Çß´Ù.
±×·¡ÇÉ·¦ ÃøÀº ÃÖ±Ù À¯·´°ú ¹ÌÁÖ¿¡¼ CVD(ÈÇбâ»óÁõÂø¹ý) ±×·¡ÇÉ¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä°¡ ±ÞÁõÇÏ´Â Ãß¼¼¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Æ®·»µå¿¡ ¸ÂÃç ±×·¡ÇÉ·¦Àº CVD ±×·¡ÇÉ TF(ŽºÅ©Æ÷½º)¸¦ ±¸ÃàÇÏ°í, CVD ±×·¡ÇÉ Á¦Á¶¿Í °ü·ÃÇØ Ç°Áú Çâ»ó ¹× Áö¼Ó °ø±ÞÀ» À§ÇÑ ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ È®¸³ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ÀÌ ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ ÅëÇØ »ý»êÇÑ ´ë¸éÀû °íÇ°Áú CVD ±×·¡ÇÉ Çʸ§Àº ¹öÀÚ¸®¾ð°ú À¯·´ ½ÃÀåÀ¸·Î °ø±ÞÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¾ç»ç´Â Ç÷¹ÀÌÅ© ±×·¡ÇÉ ¹× CVD ±×·¡ÇÉ ¿Ü¿¡µµ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ßÀÇ Àû¿ë °¡´É¼º ¹× ½ÃÀå ÁøÃâ¿¡ ´ëÇØ ³íÀÇÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ¹öÀÚ¸®¾ð PLCÀÇ Ç÷¹ÀÌÅ© ±×·¡ÇÉ °ü·Ã ±â¼ú°ú ±×·¡ÇÉ·¦ÀÇ CVD ±×·¡ÇÉ °ü·Ã ±â¼úÀ» »óÈ£ ±³·ùÇÏ°í, °øµ¿ °³¹ßÀ» ÅëÇØ °¢ ºÐ¾ß·ÎÀÇ ÁøÃâ ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇÏ´Â µî Áö¼ÓÀûÀÎ Çù·Â °ü°è¸¦ À̾°¥ ¹æħÀÌ´Ù.
±Ç¿ë´ö ±×·¡ÇÉ·¦ ´ëÇ¥´Â "À̹ø ¹öÀÚ¸®¾ð º»»ç ¹æ¹®À» ÅëÇØ »óÈ£ ÇùÀÇÇÑ ³»¿ëÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¾ç»ç°¡ º¸À¯ÇÑ ±×·¡ÇÉ °ü·Ã ±â¼ú°ú Á¦Á¶ ÇÁ·Î¼¼½º µî ´Ù¾çÇÑ ¾÷¹« ±³·ù¸¦ ÇÑÃþ ´õ È®°íÈ÷ Çß´Ù"¸ç "À̹ø Çù·Â °È·Î ±¹³» ±×·¡ÇÉ ½ÃÀå»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ±Û·Î¹ú ½ÃÀå ÁøÃâÀ» À§ÇÑ ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇß´Ù"°í ¸»Çß´Ù.