MTIR sponsor
Áö³ 9¿ù ±¹³» ÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ±â¾÷Àº ¿¹½ºÆ¼°¡ °³¹ß ÁßÀÎ °í¾Ð ¾î´Ò¸µ Àåºñ°¡ ÀÚ»çÀÇ Æ¯Ç㸦 ħÇØÇß´Ù¸ç ƯÇã ¼Ò¼ÛÀ» Á¦±âÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ¿¹½ºÆ¼´Â ÇØ´ç ƯÇã¼Ò¼Û ÁøÇà°ú °ü·ÃÇØ »ó¼¼ÇÑ ÀÇ°ß¼¸¦ ÅëÇØ Ä§ÇØ°¡ ¾Æ´Ï¶ó´Â Á¡À» Àû±Ø ¼Ò¸íÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¿¹½ºÆ¼ °ü°èÀÚ´Â "ƯÇã ¼Ò¼Û ´ëÀÀ°ú º°µµ·Î ¹«È¿½ÉÆÇ Ã»±¸¸¦ ÅëÇØ À̹ø ƯÇã ºÐÀïÀÇ ±âÃÊ°¡ µÇ´Â °æÀï»çÀÇ Æ¯Çã±ÇÀ» ¿øõÀûÀ¸·Î ¹«È¿È½Ãų °Í"À̶ó¸ç "ÀϹÝÀûÀ¸·Î ƯÇã ¼Ò¼ÛÀº ÆÇ°á±îÁö ¿À·£ ½Ã°£ÀÌ °É¸®Áö¸¸, À̹ø ¹«È¿½ÉÆÇÀº ½Å¼Ó½ÉÆÇ ´ë»óÀ¸·Î ¹«È¿½ÉÆÇ¿¡¼ ½Â¼ÒÇÒ °æ¿ì Á¶¼ÓÇÑ ºÐÀïÁ¾°áÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î º»´Ù"¶ó°í ¸»Çß´Ù.
¿¹½ºÆ¼´Â 2021³âºÎÅÍ ÀÚü ¾Ð·Â ¹× ¿Á¦¾î ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î °í¾Ð ¾î´Ò¸µ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇØ ¿Ô´Ù. ÃÖ±Ù º¹¼öÀÇ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷°ú »ó¿ëÈ ¹× ¾ç»ê Å×½ºÆ®¸¦ ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿ÃÇØ 4¿ù¿¡´Â Â÷¼¼´ë °í¾Ð ¾î´Ò¸µ Àåºñ °³¹ß°ú °ü·ÃÇÑ ±¹Ã¥°úÁ¦¿¡ ´Üµ¶À¸·Î ¼±Á¤µÆ´Ù.
ÀÌ °ü°èÀÚ´Â "¼Ò¼ÛÀÌ ÁøÇà ÁßÀ̱⠶§¹®¿¡ ±â¼úÀûÀÎ »çÇ×À» ÀÚ¼¼È÷ À̾߱âÇÒ ¼ö´Â ¾øÁö¸¸, ¿¹½ºÆ¼´Â ÀÌ·¯ÇÑ ºÐÀïÀ» ¿¹»óÇÏ°í °í¾Ð ¾î´Ò¸µ Àåºñ °³¹ß ÃʱâºÎÅÍ Æ¯Çã ¹®Á¦¿¡ ´ëºñÇØ ¿Ô´Ù"¶ó¸ç "´Ù¼öÀÇ ¿ÜºÎ ƯÇã ¹× ¹ý·ü ÀÚ¹®±â°üÀ» ÅëÇØ Æ¯Çã »çÇ×À» ÃæºÐÈ÷ °ËÁõÇÑ ¸¸Å ƯÇã ºÐÀï¿¡¼ ½Â¼Ò¸¦ ÀÚ½ÅÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í °Á¶Çß´Ù.
ÇÑÆí °í¾Ð ¾î´Ò¸µ Àåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É °øÁ¤ÀÎ ¾î´Ò¸µ °øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Àåºñ´Ù. ¾î´Ò¸µ °øÁ¤Àº ¹ÝµµÃ¼ÀÇ SiO(½Ç¸®ÄÜ ¿Á»çÀ̵å) Ç¥¸é °áÇÔÀ» °í¾ÐÀÇ ¼ö¼Ò¡¤Áß¼ö¼Ò·Î ġȯÇØ ½Å·Ú¼º(Reliability)À» Çâ»ó½ÃÅ°´Â ´Ü°è´Ù. ¹ÝµµÃ¼´Â ¾î´Ò¸µ °øÁ¤À» °ÅÄ¡¸é ±¸µ¿ Àü·ù ¹× ÁýÀûȸ·Î ¼º´ÉÀÌ ³ô¾ÆÁø´Ù. ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ 10nm ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼ °øÁ¤À» È®´ëÇÏ¸é¼ °í¾Ð ¾î´Ò¸µ Àåºñ°¡ ½ÃÀåÀÇ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù