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600W EUV °øÁ¤¿¡ Á¢ÇÕÇÑ »õ·Î °³¹ßµÈ Æ縮ŬÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù"¸ç "400W¿Í 500WÀÇ ¸ÞÅ» ±â¹Ý Æ縮ŬÀº ¸ðµç ¼º´É ÁöÇ¥¸¦ ÃæÁ·Çß°í Å×½ºÆ® °á°ú ¿Àû º¯ÇüÀÌ ¾ø¾úÀ½À» º¸¿©Áá´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
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- 2023.12.06 08:19
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